[서울=뉴스핌] 최원진 기자= 네덜란드와 미국이 대(對)중 반도체 제조장비 수출 조치를 강화할 예정이라고 로이터통신이 29일(현지시간) 소식통들을 인용해 보도했다.
보도에 따르면 네덜란드 정부는 30일 ASML 및 자국 반도체 장비 업체들이 중국에 심자외선(DUV) 노광장비를 수출하려면 당국으로부터 승인을 받아야 하는 새로운 규정을 발표할 예정이다.
수출 라이선스는 특수한 상황이 아니면 원칙상 승인이 나지 않아 사실상 금수조치로 풀이된다.
새로운 대중 수출 규제를 받을 것으로 예상되는 DUV 장비들은 트윅스캔(TWINSCAN) NXT:2000i, NXT:2050i, NXT:2100i 등이다.
규제는 발표 직후 발효되진 않으며 오는 9월부터 시행될 것으로 보인다는 전언이다.
ASML이 세계에서 독점으로 공급하는 첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 경우 이미 2019년부터 대중 수출이 사실상 금지됐다. 그동안 중국은 EUV 수입이 막히면서 구형인 DUV를 구입해 왔는데 이번 조치로 이마저도 어렵게 됐다.
앞서 네덜란드 정부는 미국의 대중 반도체 수출 제한에 동참할 의사를 밝히며, 올 여름에 구체적인 방안을 내놓겠다고 언급한 바 있다.
미국도 대중 반도체 장비 수출 규제를 한층 더 강화할 방침이다. 오는 7월 말께 발표될 것으로 예상되는 규제는 중신궈지(SMIC)를 비롯한 6개 중국 기업의 팹(fab·반도체 공장)에 반도체 장비 수출을 위해선 마찬가지로 수출 라이선스를 받아야 한다.
미국 정부는 자국 업체의 장비 뿐만 아니라 미국산 부품을 조금이라도 포함하는 외국산 장비의 수출도 엄격히 규제할 방침이다. 이에 따라 미국 내 ASML 장비의 대중 수출길도 막힐 것으로 예상된다고 소식통은 전했다.
로이터 등 주요 외신은 미국의 반도체 장비 수출 규제 강화가 중국이 독자적으로 첨단 반도체 생산을 막으려는 의도로 보고 있다.
한편 일본도 미국의 반도체 규제에 동참하고 있다. 오는 7월 23일부터 일본 최대 반도체 장비 기업 도쿄일렉트론, 니콘 등의 장비 23종의 대중 수출 규제가 발효된다.
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