[뉴스핌 라씨로] 예스티, '고압 수소 어닐링 장비' 상용화 '속도'..."품질 평가 막바지 단계, 내년 본격 양산"

기사입력 : 2024년07월04일 17:50

최종수정 : 2024년07월05일 11:08

HBM 장비 수주 증가에 올해 역대 최대 실적 전망

이 기사는 6월 28일 오전 10시07분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 '예스티'의 고압 수소 어닐링 장비 품질 평가가 막바지 단계에 진입했다. 예스티가 장비 상용화에 속도를 내고 있는 '고압 수소 어닐링 장비'는 지난해 경쟁사로부터 특허소송이 제기돼, 현재 특허 분쟁도 진행 중이다. 하반기 판결을 앞두고 있는 가운데 해당 시장이 독점에서 이원화 체계로 변할 수 있을지 시장의 관심이 쏠리고 있다.

예스티 관계자는 28일 "고압 수소 어닐링 장비 막바지 평가가 진행되고 있다. 3분기 내 평가가 완료될 것으로 보고 있다"며 "평가 완료 후, 본격적인 수주 및 양산은 내년으로 예상한다"고 말했다.

고압 수소 어닐링 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 실리콘(Si) 표면 결함을 중수소 또는 수소로 치환해 표면의 특성과 수율을 향상시키는 장비다. 기존 고압 어닐링 장비는 1회에 최대 75매까지 반도체 웨이퍼 처리가 가능한데, 예스티는 자체 고온· 고압 기술을 활용해 동시에 125매의 웨이퍼를 처리할 수 있다. 반도체 웨이퍼의 생산성을 약 60% 향상시키는 특징을 지녔다.

지난 2021년부터 개발해온 예스티의 '고압 수소 어닐링' 장비는 2022년 12월 개발 완료 후, 글로벌 반도체 기업 고객사들과 데모 및 양산 테스트를 진행해오며 상용화에 속도를 내고 있다. 다만 관련 특허기술을 보유한 반도체 장비 기업 'HPSP'로부터 기술 침해를 이유로 특허소송이 제기 돼, 현재 특허 분쟁이 진행 중이다.

그동안 고압 어닐링 장비는 HPSP가 독점해왔다. 지난해 9월, HPSP가 해당 제품에 대한 자사의 특허를 침해했다며 소송을 진행했고, 예스티는 소극적 권리범위확인 심판, 무효심판을 제기하면서 대응에 나섰다. 예스티는 HPSP의 특허와 관계없는 기술이라는 심판을 청구하고 특허 자체를 무력화하는 두 가지 심판을 동시에 제기한 것이다.

예스티가 신청한 '무효심판'과 '소극심판' 구술 심리는 오는 7월에 열린다. 이번 판결로 인해 독점적 지위를 유지하고 있는 고압 어닐링 장비 시장의 향후 방향이 달렸다는 점에서 주목받고 있다. 예스티가 승소하면 사실상 독점 체제가 깨지면서 관련 시장이 이원화 구도로 진입하게 된다.

예스티 관계자는 "구술 심리 모두 7월에 일정이 잡혀 있기에 이후에 판결이 나올 것으로 본다. 경쟁사와 회사 모두가 주관적인 입장이기에 각자 좋은 방향으로 보고 있을 것이다"고 밝혔다.

2000년 설립된 예스티는 지난 2015년 코스닥 시장에 상장했다. 칠러, 가압큐어, 퍼니스 등 반도체·디스플레이 장비와 히팅자켓, 클린후드 등 반도체공정 인프라 부품을 생산하고 있다. 예스티는 지난해 고대역폭메모리(HBM) 제조 공장에서 사용되는 핵심장비 3종류(웨이퍼 가압설비·EDS 칠러·EDS 퍼니스) 모두를 생산하는 능력을 보유하면서 품목 다변화에 성공했다. 지난해 반도체 불황에도 생성형 인공지능(AI) 시장 확대에 고성능 메모리로 급부상한 'HBM' 수요가 늘면서 꾸준한 매출 성장세를 이어오고 있다.

실제 예스티는 지난 3일 삼성전자와 60억원 규모의 HBM 제조용 가압 장비 공급 계약을 체결하는 등 지난해 10월부터 지금까지 예스티가 수주한 HBM 장비의 누적 금액은 약 382억원을 기록했다. 반도체 장비로는 창사 이래 최대 수주 실적이다.

또한 예스티는 HBM 장비뿐 아니라 반도체·디스플레이 습도제어 장비 '네오콘(NEOCON)'의 성장도 기대한다. 네오콘은 효율적인 습도 제어로 고객사 수율을 개선 시켰고, 모듈식 탈부착을 통해 생산성 향상을 높였다. 합리적인 가격 등을 통해 가격 경쟁력도 갖춘 장비로, 지난해 양산을 본격화하면서 올해 1분기부터 매출이 반영됐다. 네오콘은 공동 개발 프로그램(JPD) 장비로 올해까지는 고객사에 제약이 있는 상태지만, 내년에는 다양한 고객사 확보 등을 통해 관련 수요의 증가가 전망된다.

예스티 관계자는 "HBM 장비는 현재 제일 잘 수행되고 있는 장비이다. 네오콘은 하반기에 만료되는 시점으로 내년부터는 고객 다변화를 진행해 볼 수 있다"며 "국내를 우선 공략해 나갈 예정이다. 디바이스 업체뿐만 아니라 장비사 등 고객사의 폭을 넓게 보고 있다"고 전했다.

이어 "(실적 관련해서는) 작년 말에 수주 받은 건이 올해 다 실적으로 반영된다. 1분기에 좋은 성과를 거둔 만큼, 올해는 작년에 비해 큰 폭의 성장을 예상하고 있다. 흑자전환은 당연히 이뤄낼 전망이다"고 말했다.

예스티는 지난해 별도기준 매출액 643억원, 영업이익 21억원을 달성했다. 연결기준에서는 매출액 798억원, 영업손실 4억원으로 적자를 기록했다.

예스티의 올해 1분기 별도기준 실적은 매출액 175억원, 영업이익 25억원으로, 지난해 전년도 영업이익을 한 분기에 초과 달성했다.

nylee54@newspim.com

[관련기사]

[관련키워드]

예스티 HBM 반도체 고압 어닐링 장비 HPSP 칠러 네오콘 웨이퍼 가압큐어 퍼니스

GAM - 해외주식 투자 도우미

존슨앤드존슨 ② 인튜이티브 서지컬 아성에 도전장

존슨앤드존슨 ① 수술로봇 '오타바' FDA 승인 획득

[홍콩 대장주] 메이퇀 ③ 신성장 동력의 '폭발적 성장'

[홍콩 대장주] 메이퇀② 실적은 고속 상승, 밸류는 역대 저점

[뉴스핌 베스트 기사]

사진

법원 "노소영에 9440억 지급" 판결 [서울=뉴스핌] 백승은 기자 = 법원이 '세기의 이혼'이라고 불리는 최태원 SK 회장과 노소영 아트센터 나비 관장의 재산분할 소송 파기환송심에서 '최 회장이 재산분할금으로 9440억원을 노 관장에게 지급하라'고 판결했다. 서울고법 가사1부(재판장 이상주)는 24일 최 회장과 노 관장의 재산분할 등 사건 파기환송심 선고기일을 열고 "최 회장은 노 관장에게 9440억원과 판결이 확정된 다음날부터 다 갚는 날까지 연 5% 계산한 돈을 지급하라"고 선고했다. 양측의 법적 다툼이 시작되고 9년 만에 나온 결론이다. 파기환송심에서 가장 큰 쟁점 중 하나는 SK주식을 분할 대상으로 인정할 지 여부와 '재산분할 기준 시점'이었다. 재판부는 최 회장이 보유한 SK주식을 부부 공동재산으로 인정하면서 분할 대상으로 판단했다. 재산분할 비율은 노 관장 3분의 1, 최 회장 3분의 2로 정했다. 다만 재판부는 분할 대상 주식의 가액을 산정하는 시점은 이혼소송의 사실심(항소심) 변론 종결일인 2024년 4월16일, SK 주가가 약 16만원대였을 당시를 기준으로 책정했다. 항소심 변론종결일 이후부터 파기환송심 변론종결일(2026년 6월 26일) 사이 SK주가가 큰 폭으로 상승했는데, 이는 최 회장의 경영적 기여가 영향을 미쳤다고 봤다. 이에 대해 재판부는 "반소피고(최태원)의 보유 주식이 부부공동재산의 큰 비중을 차지하고, 최 회장 보유 주식의 가치 상승에 최 회장의 경영적 기여가 있음을 고려했다"고 했다. 아울러 재판부는 대법원 환송판결과 같이 '노태우 비자금' 300억원은 분할 대상 재산에서 제외했다. 재판부는 "노태우 지원금 300억원은 최 회장 보유 주식의 형성이나 가치 유지에 대한 노소영의 기여나 재산분할비율 산정에서 참작하지 않는다"고 했다. 이번 결정에 따라 최 회장은 노 관장에게 재산분할금 9440억원을 현금으로 지급해야 한다. 아울러 최 회장이 혼인관계 파탄 전 경영권 유지와 경영활동 일환으로 친인척에게 증여한 주식은 분할 대상 재산에서 제외했다. 이날 최 회장 측 법률대리인은 입장문을 통해 "약 20년에 가까운 혼인 해소 과정에서 작년 대법원 판결로 이혼이 확정되었고 오늘 재산분할의 파기환송심 판결이 있었다"라며 "최태원 회장은 지금까지의 과정에서 많은 분들께 심려를 끼친 것에 대하여 송구하게 생각하고 있다"고 했다. 그러면서 "판결에 대한 구체적 입장은 판결문을 면밀히 검토한 뒤 말씀드리겠다"며 재상고 의사를 밝혔다. 노 관장 측은 별다른 입장을 내지 않았다. 한편 두 사람은 지난 1988년 결혼해 세 자녀를 뒀지만 파경을 맞았다. 지난 2015년 최 회장이 혼외 자녀 소식을 언론에 알리고 2017년 7월 이혼 조정을 신청했지만 결렬됐다. 이듬해인 2018년 노 관장을 상대로 이혼소송을 제기하자 노 관장도 이혼에 응하겠다며 2019년 12월 맞소송했다. 이혼 소송 1심 재판부는 2022년 12월 '최 회장이 노 관장에게 재산분할로 현금 665억원과 위자료 1억원을 지급하라'고 판단했지만 양측 모두 불복했다. 이후 2024년 5월 2심 재판부는 최 회장이 보유한 주식회사 SK 지분도 재산분할 대상이라고 보고 재산분할 1조3808억원, 위자료 20억원을 지급하라고 판결했다. 이는 국내 이혼소송 사상 최대 규모다. 노 관장의 아버지인 노태우 전 대통령의 '300억원 비자금'이 SK그룹 성장에 상당 부분 기여한 점, 노 관장의 가사와 자녀 양육 등이 가정에 기여한 부분이 있다고 본 결과다. 지난해 10월 대법원은 위자료 20억원은 확정했지만, 재산분할은 파기환송하고 서울고법에 돌려보냈다. 노 전 대통령의 비자금은 불법 자금이라 노 관장의 기여로 평가할 수 없다고 봤다. 파기환송심 재판부도 이같은 판단을 유지했다. 100wins@newspim.com 2026-07-24 15:11

사진

국민의힘, 원내대표 멱살잡이 소동 [서울=뉴스핌] 송기욱 기자 = 국민의힘이 후반기 상임위원회 배정을 둘러싼 내부 충돌로 혼란에 휩싸였다. 상임위원회 배정에 항의하는 과정에서 원내대표의 멱살을 잡는 등 혼란이 연출됐다. 정점식 원내대표가 24일 원내대책회의에 불참한 가운데 정희용 사무총장이 공개 비판에 나섰다. 당사자로 지목된 권영진 의원은 이후 입장문을 내고 "이유 여하를 불문하고 무조건 저의 잘못"이라며 사과했다.정 사무총장은 이날 오전 국회에서 열린 원내대책회의에서 "국민들께 부끄럽고 한편으로 동료 의원으로서도 참담한 일이 발생했다"고 밝혔다. 앞서 권영진 의원이 전날 오후 국회 원내대표실을 찾아 상임위 배정 문제를 두고 정 원내대표에게 강하게 항의했다. 이 과정에서 원내대표실 밖 취재진에게 들릴 정도로 고성이 오갔고, 멱살잡이 등 물리적 충돌도 발생했다. 권 의원은 당초 정보위원회 배정을 희망했으나 최종적으로 행정안전위원회 간사로 배정되자 원내지도부에 강하게 반발한 것으로 전해졌다. 상임위 배정 과정에서 의원들의 희망 상임위와 전문성, 선수 등을 반영하는 기준이 충분히 설명되지 않았다는 문제의식도 있었던 것으로 알려졌다. [서울=뉴스핌] 정일구 기자 = 정희용 국민의힘 사무총장이 24일 오전 서울 여의도 국회에서 열린 원내대책회의에서 모두발언을 하고 있다. 2026.07.24 mironj19@newspim.com 정 사무총장은 "상임위 배정에 불만을 품은 의원이 항의하는 과정에서 급기야 한 의원은 원내대표의 멱살을 잡았고, 이를 말리던 전임 원내대표의 멱살까지 잡는 일이 있었다고 한다"고 말했다. 이어 "항의와 물리적 행위는 분명히 구분돼야 한다"며 "폭력은 결코 정당화될 수 없다"고 강조했다.정 사무총장은 "지금 이 순간에도 당원들께서는 훼손된 참정권을 되찾기 위해 거리에서, 현장에서 싸우고 있다"며 "이때 우리 당은 품격과 질서를 무너뜨리는 부끄러운 모습을 보였다"고 했다.그러면서 "당원과 국민 여러분께 실망을 안겨드려 진심으로 송구하다"며 "이번 사태를 엄중하게 받아들이겠다"고 말했다.정 사무총장은 "이런 일이 다시 반복되지 않도록 당의 명예와 품위를 훼손하는 행위에 대해서는 엄정하고 단호하게 대처하겠다"고 밝혔다. [서울=뉴스핌] 장동규 기자 = 정점식 국민의힘 원내대표가 23일 서울 여의도 국회에서 열린 제437회 국회(임시회) 제02차 본회의에서 신동욱 최고위원과 대화하고 있다. 2026.07.23 jk31@newspim.com 그는 회의에 불참한 정 원내대표를 향해서도 "지금 우리 당에는 원내대표님의 리더십이 어느 때보다 절실하다"며 "흔들림 없이 대여 공세를 이끌어 주시기를 부탁드린다"고 했다.국민의힘 사무처 노동조합도 이날 성명을 내고 "항의와 폭력은 다르다"고 비판했다. 노조는 "국민의힘 사무처 노동조합은 원내대표의 멱살을 잡는 등 당내에서 발생한 폭력적 행위에 깊은 유감을 표한다"며 "국민의힘에서 치열한 이견과 항의는 있을 수 있다. 그러나 물리력을 행사하는 폭력은 어떠한 이유로도 정당화될 수 없다"고 밝혔다.이어 "상임위원회 배정에 대한 이견이 있었다면 대화와 당내 절차로 해결했어야 한다"며 "자신의 뜻이 받아들여지지 않았다는 이유로 원내대표의 멱살을 잡는 것은 책임 있는 국회의원의 자세가 아니다"라고 지적했다. 국민의힘 원내부대표단도 입장문을 내고 이번 사태에 대한 엄정 대응을 촉구했다. 원내부대표단은 "국민을 대표하고 민의를 받드는 국회에서, 그것도 당 원내대표의 멱살을 잡는 폭력 사태가 발생한 것은 참담함을 넘어 당의 품격과 국회의 권위를 무너뜨린 전대미문의 오점"이라고 비판했다. 이어 "이를 만류하던 전임 원내대표까지 멱살을 잡았다는 사실은 묵과할 사항이 아니다"라며 "국민의힘 원내부대표단은 이번 사태에 대해 깊은 유감을 표한다"고 밝혔다. 권영진 국민의힘 의원 [사진 = 뉴스핌 DB] 논란이 확산되자 권 의원은 이날 국민의힘 의원들에게 사과 입장문을 보냈다. 권 의원은 "어제 원내대표실에서 행한 저의 언행은 이유 여하를 불문하고 무조건 저의 부족함이고 잘못이었다"고 밝혔다.그는 "이로 인해 정점식 원내대표님께 큰 결례를 범하고, 리더십에 상처를 드렸다"며 "저의 불찰과 잘못을 깊이 반성하고 사과드린다"고 했다.이어 "이 사실을 접하고 실망과 참담함을 느끼셨을 동료 의원님들과 당원 동지들, 그리고 국민들께도 깊이 사과드린다"고 덧붙였다.oneway@newspim.com 2026-07-24 11:55