[서울=뉴스핌] 김정인 기자 = ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)가 한국을 찾아 글로벌 반도체 협력 강화를 모색하고 있다. 푸케 CEO는 전날 곽노정 SK하이닉스 대표이사 사장과 만나 협력 확대 방안을 논의했으며, 삼성전자에서는 전영현 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장)과의 회동이 유력한 것으로 전해졌다.
12일 업계에 따르면 푸케 CEO는 이날 오전 경기도 화성시에서 열린 'ASML 화성캠퍼스 준공식'에 참석했다. 이번 행사는 비공개로 진행됐으며, 송재혁 삼성전자 DS부문 최고기술책임자(CTO)와 차선용 SK하이닉스 미래기술연구원장(사장) 등이 참석한 것으로 알려졌다.
ASML은 네덜란드 본사를 둔 세계 최대 반도체 장비 기업으로, 초미세공정 구현에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 생산하고 있다. 특히 차세대 하이(High) NA EUV 장비는 연간 생산량이 10대도 채 되지 않아 확보 경쟁이 치열한데, 현재 한국에서는 삼성전자와 SK하이닉스만이 양산 적용을 추진 중이다.
화성에 새로 문을 연 'ASML 화성캠퍼스'는 한국 내 기술 지원과 장비 교육, 부품 재제조 기능을 모두 통합한 거점으로, 아시아 시장의 핵심 허브 역할을 맡는다. 회사는 이곳에 DUV·EUV 트레이닝센터를 구축해 반도체 엔지니어 양성에도 나설 계획이다.
이번 푸케 CEO의 방한은 글로벌 공급망 재편 속에서 한국의 전략적 비중이 커지고 있음을 보여주는 행보로 풀이된다. 네덜란드 정부가 2019년 이후 EUV 장비의 대중국 수출을 제한하고, 최근 구형 장비까지 규제 범위를 확대하면서 한국이 ASML의 핵심 파트너로 부상하고 있기 때문이다.
삼성전자와 SK하이닉스는 모두 ASML의 차세대 '하이(High) NA EUV' 장비를 도입해 최첨단 공정 경쟁력을 강화하고 있다. 삼성전자는 연내 2나노 공정용 장비 추가 반입을 추진 중이며, SK하이닉스는 지난 9월 이천 M16 공장에 양산용 장비를 들여온 바 있다.
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