[용인=뉴스핌] 노호근 기자 = 용인특례시 반도체 크러스터(이동읍 덕성리) 입주예정 기업인 반도체 장비 전문기업 ㈜예스티가 독자 개발한 고압어닐링장비(HPA)를 글로벌 반도체 기업에 첫 출하하며 시장 공략에 나섰다.

예스티는 최근 양산 테스트를 위한 75매 고압어닐링장비를 출하하고 글로벌 고객사 사이트에 성공적으로 인도(Fab-in)했다고 31일 밝혔다.

예스티는 그간 해당 고객사와 다양한 평가를 거쳐 양산 테스트를 위한 JDP 계약을 체결하였으며, 이번에 공급된 장비는 고객사 생산 라인에서 양산에 적용된다.

이번 출하는 예스티가 고압어닐링(HPA:High-Pressure Hydrogen Annealing 반도체 웨이퍼에 열을 가해 결함을 줄이고 소자 성능을 개선하는 어닐링(열처리) 공정 중, 고압 환경에서 수소를 활용하는 방식) 시장에서 제품 경쟁력을 입증했다는 점에서 의미가 크다.

예스티는 이미 다른 글로벌 기업으로부터 125매 대용량 장비를 수주해 오는 8월 납품을 앞두고 있다. 여기에 이번 75매 장비 공급까지 더해지며, 메모리와 파운드리를 아우르는 전 영역의 고객군을 확보하게 됐다.

올 해 부터는 고압어닐링장비 매출이 회사 실적에 본격적으로 반영될 것이라며 현재 여러 글로벌 고객사들과 다양한 공정 적용을 위한 논의와 테스트를 긴밀하게 진행 중인 것으로 알려졌다.

예스티는 아울러 차세대 장비인 고압산화공정장비(HPO)의 상용화도 속도를 내고 있다.

예스티 관계자는 "알파기(Alpha)를 통해 최적의 공정 조건을 확보했으며 최근 국책과제를 통해 양산기 제작까지 완료했다"면서 "글로벌 고객사들과의 평가 작업이 활발히 진행되고 있어 조만간 가시적인 성과가 나올 것으로 기대된다"고
말했다.

이어 "이번 첫 장비 공급과 기존 수주 성과를 바탕으로 향후 용인 반도체 국가산업단지 조성 사업과 발 맞추어 2026년 상반기 반도체 및 디스플레이 부품소재기업 계열사 입주를 시작으로, 2028년 까지 입주 완료를 계획하고 있다"며 "향후 용인 첨단시스템반도체 클러스터 국가산업단지 입주기업과 상호 보완적 산업구조를 구축할 방침이다"라고 강조했다.

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