[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체·로봇 기반 제조 솔루션 기업 스맥이 브이디에스와 반도체 장비, 정밀구동 모듈, 자율제조 솔루션 분야의 공동 연구개발·실증·상품화를 위한 업무협약(MOU)을 체결했다고 15일 밝혔다.

회사에 따르면 양사는 장비 설계·제작, 정밀구동, 제어·자동화 기술을 결합해 반도체 전·후공정 및 분석공정용 장비와 핵심 모듈을 공동 개발한다. 향후 로봇·공작기계 자동화 셀에 적용 가능한 정밀 감속기·액추에이터와 자율제조 솔루션까지 협력 범위를 확대할 계획이다.

브이디에스는 로봇용 정밀 고비율 감속기와 반도체 장비 핵심 모듈을 개발하는 기술기업이다. 올 초 중소기업청 주관 TIPS(민간투자주도형 기술 창업 지원) 사업에서 우수기업으로 평가받았으며, 최근 산업통상부 주관 휴머노이드용 액추에이터 개발 과제의 참여 기업으로 선정됐다.

자체 치형 설계 이론을 기반으로 한 고감속비 정밀 감속기 기술의 원천 특허를 보유하고 있으며, 물류로봇, 휴머노이드, 자동차·국방용 구동부에 이어 반도체 장비용 헤드 모듈 분야로 사업 영역을 확대 중이다. 특히 반도체 전후공정 및 3차원 패키징 공정에서 요구되는 고속·고정밀 모듈 설계 기술을 기반으로 서브미크론급 초정밀 고강성 스테이지 모듈, CMP용 핵심 기구 모듈, 본딩용 핵심 모듈 개발을 추진 중이다.

스맥은 이번 협약을 통해 공작기계, 자동화, 로봇, 제어 기술 역량을 반도체 장비 및 정밀구동 분야로 확장한다. 양사는 반도체 전후공정용 유닛·모듈·장비의 공동 개발과 상품화를 추진하고, 스맥이 진행 중인 분석용 반도체 장비 및 세정장비 고도화에 브이디에스의 정밀구동·헤드 모듈 기술을 접목할 예정이다. 고정밀 위치제어, 하중제어, 진동 저감, 모듈화 설계 등 반도체 장비 성능을 좌우하는 핵심 요소에서 협력해 단순 부품 공급을 넘어 공동 사업화 모델을 구축한다.

권오혁 스맥 대표이사는 "이번 협력은 스맥이 스마트팩토리 공급 기업을 넘어 반도체 장비, 정밀구동, 로봇 자동화 기술을 융합하는 자율제조 플랫폼 기업으로 진화하는 중요한 계기가 될 것"이라며 "스맥의 장비 제작·자동화·제어 역량과 브이디에스의 정밀구동 및 반도체 핵심 모듈 기술을 결합해 고객이 체감할 수 있는 실질적 성과를 만들어 가겠다"고 말했다.

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