AI 핵심 요약
beta- 에스에프솔루션이 13일 스케일업 팁스 특화형 과제에 선정됐다
- 정부지원금 30억원 등 총 40억원을 투입해 장비를 개발한다
- 600mm급 단결정 실리콘 성장장비 개발·실증 후 상용화한다
!AI가 자동 생성한 요약으로 정확하지 않을 수 있어요.
오는 2029년까지 개발·실증
[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 실리콘 성장장비 전문기업 에스에프솔루션이 중소벤처기업부 산하 중소기업기술정보진흥원의 '스케일업 팁스(Scale-up TIPS) 특화형' 연구개발 과제에 최종 선정됐다고 13일 밝혔다.
회사에 따르면 정부지원 연구개발비 30억원을 포함해 총 40억원 규모의 사업비가 투입되며, 사업기간은 지난 9월부터 오는 2029년 8월까지다.
회사는 이번 과제를 통해 반도체 드라이 에칭 공정에 사용되는 600mm급 초대구경 단결정 실리콘 잉곳(Si Ingot) 성장장비(Grower)를 개발한다고 설명했다. 국내 최초로 600mm급 초대구경 단결정 실리콘 성장장비를 개발하는 사업으로, 개발 후 실제 Si Ingot 성장 및 실증을 추진한 후 고객 검증을 거쳐 상용화 레퍼런스를 확보할 계획이다.
반도체 산업이 5nm 이하 첨단 로직 공정과 200단 이상의 3D NAND 공정으로 고도화되면서 드라이 에칭 공정에 사용되는 실리콘 부품의 중요성이 높아지고 있다. 공정 균일성과 수율 확보를 위한 소재 성능 요구가 강화되면서 단결정 실리콘 적용 수요도 확대되는 추세다.
2022년 4월 설립된 에스에프솔루션은 실리콘 단결정 성장장비 설계·제작 및 기술개발을 전문으로 한다. 태양광용 36인치 Grower와 반도체용 28인치, 32인치 Grower 등을 제작·납품해 왔다.
이영준 대표이사는 "이번 스케일업 팁스 선정을 계기로 600mm급 초대구경 단결정 실리콘 성장을 위한 Grower 개발과 실제 Ingot 성장 검증을 성공적으로 수행할 계획"이라며 "기술 경쟁력과 상용화 레퍼런스를 확보해 국내외 반도체 Si Parts 공급망에서 핵심 생산장비를 공급하는 전문기업으로 자리매김하겠다"고 말했다.
한편 에스에프솔루션은 올해 2월 약 15억원 규모의 시리즈A 투자를 유치해 누적 투자유치액 약 34억원을 기록했다.
nylee54@newspim.com
