삼성전자·SK하이닉스, ASML과 MOU 체결
尹 "직접 소통 강화하고 필요한 모든 지원 할 것"
[서울=뉴스핌] 김승현 기자 = 윤석열 대통령이 우리 경제의 '쌀알'인 반도체 산업 밸류체인(가치사슬) 교두보 확보를 위해 직접 현장에서 뛰어 성과를 이뤄냈다.
네덜란드 국빈 방문의 주요 일정으로 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장 등 우리 반도체 기업 총수들과 함께 세계적인 반도체 장비기업인 ASML 본사를 방문했다. 윤 대통령의 ASML 방문은 그간의 해외 순방 중 첫 번째 해외 기업 시찰이다.
삼성전자와 SK하이닉스는 ASML과 각각 1조원대 R&D센터 설립과 기술개발 업무협약(MOU)를 체결했다.
윤 대통령은 12일(현지시간) 빌렘 알렉산더 네덜란드 국왕과 함께 세계적인 반도체 장비 생산기업 ASML 본사를 방문했다. 양국 정상은 이날 ASML 본사에서 한국과 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업 대표들과 간담회를 갖고 차세대 극자외선(EUV) 노광장비 생산현장을 함께 둘러봤다.
ASML은 인공지능, 스마트폰 등에 사용되는 최첨단 반도체 제조에 사용되는 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업으로 반도체 업계에서는 '슈퍼을(乙)'로 불린다.
김태효 국가안보실 1차장은 출국 전 브리핑에서 "네덜란드는 반도체 분야 글로벌 기업들을 여럿 보유하고 있다. 그중에서도 반도체 장비 기업인 ASML은 극자외선 노광장비를 생산하는 세계 유일의 기업"이라며 "이 장비 없이는 초정밀 반도체 생산이 불가하기에 세계 굴지의 회사들이 납품을 받으려고 몇 년씩 기다리는 실정"이라고 설명한 바 있다.
윤 대통령과 알렉산더 국왕은 ASML에 도착한 직후 양국 정상의 동반 방문을 기념하는 문구가 새겨진 웨이퍼에 서명했다. ASML은 서명된 웨이퍼를 본사 클린룸에 전시할 예정이다.
양국 정상은 이어 ASML과 협력 관계에 있는 한국, 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업, 기관들과 간담회를 개최했다. 간담회에는 삼성전자, SK하이닉스, ASML, ASM(네덜란드, 증착장비), Zeiss(독일, 광학시스템), IMEC(벨기에, 반도체 연구기관) 대표들이 참석했다,
양국 정상과 이재용 회장, 최태원 회장 등은 이후 ASML의 클린룸을 함께 방문해 차세대 EUV 장비 생산 현장을 시찰했다. 클린룸은 지금까지 전체 모습이 공개된 적 없는 차세대 EUV 생산 현장이며, 이번에 처음 공개됐다.
윤 대통령은 현장 시찰 뿐 아니라 양국 정부(한국 산업통상자원부–네덜란드 외교부) 간, 삼성전자, SK하이닉스와 ASML 간 MOU 체결도 이끌었다.
삼성전자는 ASML과 함께 1조원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 '차세대 반도체 제조기술 R&D센터'를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다. 장비기업인 ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.
SK하이닉스는 ASML과 'EUV용 수소가스 재활용 기술개발 MOU'를 체결했다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우, 전력 사용량은 20% 줄어들고 연간 165억원의 비용이 감축될 것으로 기대된다.
또한 양국 정부는 최첨단 반도체 생산 장비를 활용해 양국 대학원생에게 현장 학습 기회를 제공하는 '한-네덜란드 첨단반도체 아카데미'를 신설하는 협력 MOU를 체결했다. 첨단반도체 아카데미는 양국에서 100명이 참석한 가운데 내년 2월 네덜란드에서 첫 번째 교육이 개시될 예정이다.
윤 대통령은 지난해 11월과 지난 7월 피터 베닝크 ASML 회장을 두 차례 만나 한국에 대한 투자 확대를 요청한 바 있다.
윤 대통령은 현장에서 "ASML과 삼성은 향후 1조원을 투자해 반도체 R&D 센터를 한국에 건설하고, SK하이닉스는 생산 과정에서 전력 소비를 획기적으로 줄이고, 수소 자원 친환경 공정을 함께 개발하기로 했다"며 사업 내용을 직접 소개하기도 했다.
윤 대통령은 이어 "한국 정부는 이번 협력 프로젝트 성공을 위해 양국 정부 간 직접 소통을 강화하고 필요한 모든 지원을 할 것"이라며 "한국-네덜란드 반도체 동맹이 더욱 굳건해지는 계기가 되길 바란다"고 말했다.
네덜란드 국빈 방문에 동행중인 이종호 과학기술정보통신부 장관도 현지 브리핑에서 삼성전자, SK하이닉스와 ASML 간의 협력에 대해 "우리 기업들이 굉장히 많이 필요한 EUV 장비 자체를 좀 더 수월하게 공급받을 수 있는 기회"라고 의의를 설명했다.
이 장관은 "노광장비는 반도체 집적공정에서 가장 중요한 장비다. EUV를 생산하는 기업은 ASML이 세계에서 유일하다"며 "7나노 공정을 EUV로 하면 시간도 줄이고 수율도 높일 수 있는 그런 기술이다. 결국 7nm 이하 기술에는 EUV를 사용해야 한다는 것"이라고 설명했다.
이 장관은 "삼성전자 같은 경우에는 3나노 기술을 양산에 적용했으니 그런 곳에서는 필연적으로 EUV 장비가 필요하다"며 "이번 반도체 동맹을 함으로 해서 이전보다 좀 더 유연하게 우리가 장비를 조달하는데 있어서 이점이 있을 것"이라고 강조했다.
이 장관은 "EUV 광원을 만들어낼 때 주석을 흘리고 거기에 레이저를 쏴서 발생되는 EUV 광원의 파장이 13.5나노미터(nm) 정도 된다"며 "그런 것을 만들 때 주석이 산화되는 것을 방지하기 위해서 수소를 쓰는데, 수소가 일종의 환원제로 쓰인다. 그런 것을 SK와 ASML이 같이 협력하는 관계"라고 말했다.
kimsh@newspim.com
