[서울=뉴스핌] 고인원 기자= 미국 정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 EUV(극자외선) 노광장비가 중국에 유입됐을 가능성을 제기하자 ASML이 즉각 반박에 나섰다. 미·중 반도체 패권 경쟁이 격화되는 가운데 첨단 반도체 장비 수출 통제를 둘러싼 긴장감도 다시 높아지는 모습이다.

ASML은 19일(현지시간) 로이터 통신와의 인터뷰에서 "중국에 EUV 장비를 출하한 적이 없으며, EUV 장비에 사용하도록 특별히 설계된 부품과 모듈, 장비 역시 공급한 적이 없다"고 밝혔다.

이번 해명은 하워드 러트닉 미국 상무장관이 최근 ASML 경영진과의 회의에서 "ASML의 EUV 장비가 미국 주도의 수출 통제를 위반한 채 중국에 유입됐을 수 있다"는 우려를 전달했다는 블룸버그 보도 직후 나왔다.

ASML은 "중국 관련 수출 통제 규정을 위반했다는 의혹을 반박한다"며 "수출 통제 정책 변화에 맞춰 사업 운영 방식을 지속적으로 조정해 왔으며 새로운 규정을 철저히 준수하고 있다"고 강조했다.

◆ 美, 대중 반도체 봉쇄 강화…ASML 장비도 규제 대상

ASML의 EUV 장비는 첨단 인공지능(AI) 반도체와 최첨단 공정 생산에 필수적인 장비로 꼽힌다. 길이가 스쿨버스에 맞먹고 무게는 180톤에 달하는 초대형 설비다.

그동안 미국은 중국의 첨단 반도체 개발을 억제하기 위해 네덜란드 정부와 협력해 ASML의 EUV 장비 중국 수출을 차단해 왔다. 실제로 중국은 아직 정식으로 EUV 장비를 도입하지 못한 것으로 알려져 있다.

미국 정부는 지난 4월에도 동맹국들이 미국의 대중 반도체 수출 통제 정책에 보조를 맞추도록 하는 법안을 추진했다. 해당 법안에는 ASML 장비도 규제 대상으로 명시됐다.

◆ 네덜란드 정부 "수출 허가 엄격 관리"

네덜란드 정부 역시 수출 통제 규정을 엄격하게 적용하고 있다고 밝혔다.

네덜란드 외교부는 성명을 통해 "반도체 제조 장비 수출은 유럽연합(EU)의 이중용도 품목 규정과 추가 국가 규제에 따라 관리된다"며 "관련 장비와 부품, 기술은 모두 수출 허가를 받아야 하며 정부는 이를 매우 엄격하게 집행하고 있다"고 설명했다.

한편 로이터는 지난해 12월 중국 연구진이 ASML 출신 엔지니어들이 참여한 팀을 중심으로 EUV 장비 시제품을 개발했다고 보도한 바 있다. 당시 업계에서는 이를 중국의 '반도체 맨해튼 프로젝트'로 평가했다.

시장에서는 미국의 의혹 제기가 단순한 확인 차원을 넘어 향후 중국에 대한 반도체 장비 규제를 한층 강화하기 위한 사전 작업일 가능성에도 주목하고 있다.

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