[서울=뉴스핌] 오상용 기자 = 하워드 러트닉 미국 상무부 장관이 최근 네덜란드의 반도제 장비 제조사 ASML(종목코드 : ASML)의 경영진을 만나 ASLM의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 1대가 미국의 수출 통제를 어기고 중국으로 유입됐을 가능성에 대해 우려를 전달했다고 블룸버그가 현지시간 19일 보도했다.

이에 대해 사측은 문제의 EUV 장비를 중국에 선적한 사실이 없다고 강하게 부인한 것으로 전해진다. EUV 노광장비는 삼성전자와 TSMC 등이 첨단 반도체 양산에 사용하는 핵심 설비다. 미국의 주요한 대(對)중국 수출금지 품목 중 하나다.

미국의 심기를 건드렸다는 우려가 커지면서 ASML 내부는 '비상 모드'에 돌입했다. 러트닉 장관과 지난 4월 회동 후 회사 경영진은 '중국에 자사 EUV 시스템이 존재한다는 징후가 없다'는 문건을 작성해 워싱턴 관가에 전달했다.

해당 문건에서 사측은 전 세계에서 가동 중인 EUV 장비는 총 314대 그리고 퇴역한 장비는 26대로, 이 가운데 중국에 설치된 장비는 한 대도 없다고 강조했다.

문제는 트럼프 행정부 내 일부 관리들이 ASML 측의 설명을 그다지 신뢰하지 않는다는 점이다.

미국의 일부 고위 관리들은 ASML이 EUV 시스템 운송에 활용되는 특수 장비와 EUV에 사용될 수 있는 부품을 중국에 선적한 증거를 가지고 있다고 밝힌 바 있다. 다만 정보 출처의 민감성을 이유로 구체적 증거 제시를 거부하고 있어 이 문제를 둘러싼 의혹만이 여전할 뿐이다.

이에 대해 ASML은 블룸버그에 "EUV 장비를 중국에 선적한 적이 없을 뿐 아니라, EUV용으로 설계된 어떠한 부품과 ·모듈, 장비도 중국으로 보낸 사실이 없다"고 강력 부인했다.

회사 측은 EUV 노광장비의 크기가 통학 버스 크기에 달하고 전 세계에서 한정된 수량만 생산되고 있는 데다, 설치와 운영 과정에서 ASML 엔지니어의 지속적인 관여가 필요하다는 점을 들어, 고객이 ASML 모르게 장비를 옮겨다 다시 설치하는 것은 구조적으로 불가능하다고 강조했다. 회사 자체적으로 전 세계에 공급된 노광장비의 기능 중단과 비정상적 작동 등을 자동으로 감지할 수 있어 더 그렇다고 했다.

ASML은 시가총액 기준 유럽 최대 회사다. 첨단 노광장비 시장을 사실상 독점하고 있다. 미국은 그간 네덜란드와 일본을 압박해 중국으로 선적되는 첨단 반도체 생산 장비의 흐름을 차단해 왔다. 그 대상에는 항상 ASML이 있었다.

네덜란드는 미국의 요청에 따라 이미 EUV 장비는 물론이고 DUV(심자외선) 장비의 중국 수출도 제한하고 있다.

한편 ASML과 미국의 사이가 그간 원만했던 것은 아니다. ASML이 여러 차례 워싱턴의 심기를 건드린 바 있다. 바이든 행정부 시절에는 DUV 장비의 대중 수출규제가 공식 발효되기 전, ASML이 '막차 수요'를 노리고 중국 고객사에 장비 선적을 앞당겼다는 지적도 나왔다.

트럼프 2기 행정부 고위관리들은 EUV 장비를 둘러싼 의혹과 함께 이러한 과거 행적을 상기시키며 ASML이 국가안보보다 눈앞에 돈만 좇는다고 비난하곤 했다.

이에 대해 ASML은 "어느 정부와의 합의도 의도적으로 위반한 적이 없다"며 "각국의 수출통제 제도 변화에 맞춰 우리는 사업 운영을 꾸준히 조정해 왔다"고 반박했다. 그럼에도 트럼프 행정부의 수출정책을 총괄하는 수장(러트닉 상무장관)이 몸소 이 문제를 제기한 만큼, ASLM이 제때 미국의 의심을 풀지 못하면 가뜩이나 삐걱거리는 미국과 EU 관계에 추가적인 갈등이 빚어질 수 있다.

osy75@newspim.com