[대전=뉴스핌] 김태진 기자 = 한국표준과학연구원(KRISS)은 국산 불화수소 등 반도체용 고순도 가스 소재에 대한 품질평가 설비를 완공했다고 22일 밝혔다.
약 20종에 대해 시험검사 서비스를 진행할 예정이며 가장 먼저 불화수소에 대한 품질평가를 시작한다.
KRISS는 일본의 반도체 소재 수출 규제에 대응하기 위해 지난해 8월부터 설비 구축을 추진해왔다. 분석 장비비 8억원, 시설 구축비 7억원 등 긴급 자체 예산 15억원을 사용해 실험실을 완공했다.
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| 왼쪽부터 KRISS 가스분석표준그룹 산업용독성가스분석표준팀 김병문 책임기술원, 오상협 책임연구원, 김선우 기술원[사진=한국표준과학연구원] 2020.09.22 memory4444444@newspim.com |
KRISS는 이번 실험실 구축을 통해 반도체용 고순도 가스에 대한 신뢰성 있는 시험결과를 제공할 수 있게 됐다. 국내 반도체용 가스 소재 개발업체와 반도체 제조사 등 관련 산업 전반의 경쟁력 향상이 기대된다.
불화수소는 반도체 원판인 웨이퍼의 세정과 식각공정에 사용된다. 반도체의 제조 수율을 높이기 위해서는 고순도의 불화수소가 필요하다. 고순도 불화수소는 쇼와덴코, 모리타, 스텔라 케미파 등 일본업체에서 세계시장을 독점하고 있다.
국내 고순도 불화수소의 순도 검증법은 업체별로 달라 표준화돼 있지 않다. KRISS에서 국산 불화수소의 품질평가를 진행할 실험실을 마련하면서 이를 해결할 수 있게 됐다. 사용되는 측정기술과 표준물질은 KRISS가 자체 개발했다는 점에서 더욱더 큰 의의가 있다.
KRISS는 이와 관련한 표준 시험절차서 개발을 2021년 상반기에 완료하고 20여종의 가스 소재에 대한 분석법 개발을 연차적으로 진행할 예정이다.
또 국내 업체들과 협의체를 구성해 숙련도 시험을 개최하는 등 국내 가스 소재 업체의 기술 자립화 지원에 힘쓸 예정이다.
박현민 원장은 "2019년 하반기부터 '일본 수출규제 적극대응 위원회'를 운영하며 소재, 부품, 장비에 대한 신뢰성 평가기술 등을 지원해 왔다"며, "KRISS가 가진 세계 최고 수준의 측정기술을 바탕으로 관련 산업의 국가 경쟁력 향상에 이바지하겠다"고 말했다.
이번 시험서비스는 KRISS 표준성과한마당 홈페이지에서 신청할 수 있다.
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