[고영화의 중국반도체] <6> 中 반도체 장비 국산화 몇 년 걸릴까 <上>

기사입력 : 2022년09월01일 09:02

최종수정 : 2022년09월01일 17:29

[편집자] 미국의 대중국 기술 제재 이후 중국의 반도체 굴기가 한층 맹렬하게 진행되고 있다. 의욕 만큼이나 실패도 연속되고 있지만 중국은 시행착오를 통해 한발짝 씩 기술 축적의 수준을 높여가고 있다. 중국이 반도체 전용 펀드를 앞세워 반도체 육성에 나선 것은 2014년이지만 미중 무역 마찰을 겪으면서 반도체 약진세가 한층 빠르게 추진되고 있다는 분석이다. 중국 기술 봉쇄를 위해 미국이 반도체 법안을 제정하는가 하면 '칩포 동맹'도 추진중이다. 미국의 제재 속에 2보 전진 1보 후퇴의 공방이 계속되는 가운데 국내외 전문가들은 대륙의 실수 '샤오미' 처럼 중국 반도체 분야에서도 어느 순간 '대륙의 실수'가 터져 나올지 모른다고 입을 모은다. 중국 4차산업 혁명 기반 디지털 신기술에 정통한 고영화 연구원의 중국 반도체 이야기를 시리즈로 연재한다. 글 싣는 순서는 시시각각 변하는 중국 반도체 이슈에 따라 최신 내용으로 다소 조정될 수 있다.

[고영화의 중국 반도체] 글싣는 순서

1. 중국 반도체 굴기, 한국 따라잡나
2. 중국 반도체 설계 기술 현주소
3. 中 파운드리 점유율 확대와 한계
4. 후공정 세계 2위 中 2.5D/3D 패키징 육성 전력
5. 中 노광기 국산화, 반도체 굴기 '사활'
6. 中 반도체 장비 국산화 몇 년 걸릴까?
7. 무서운 잠재력 중국 반도체 소재
8. 이미지 센서 반도체 세계 3위
9. 세계를 리드하는 중국 AI반도체
10. 반도체 굴기 지탱하는 자동차 반도체 위용
11. 중국 휴대폰 반도체 놀라운 시장 규모
12. 다양한 응용 中 MCU 반도체 시장
13. 3세대 반도체 세계 1등의 꿈
14. 반도체 협력 한중 상생 방안

지난' 5회' 주제 '노광기'에 이어서 이번 주에도 중국의 '반도체 장비'에 대해 살펴보고자 한다. 반도체를 만드는데 있어 장비 만큼 중요한 것도 없다.

많이 알려진 소위 '반도체 8대 공정'은 웨이퍼 제조, 산화공정, 포토공정, 식각공정, 증착/이온주입 공정, 금속배선 공정, EDS(선별) 공정, 패키징 공정으로 이루어지며, 각각의 공정에는 수많은 반도체 장비가 소요된다.

이중에 웨이퍼 제조는 소재 공정이고, EDS공정과 패키징 공정은 후공정으로서 비교적 요구되는 기술 수준이 낮은 편이다. 이들 3가지 분야를 제외하고 나머지 산화~금속배선 등 5가지 공정의 장비를 자세히 살펴 보는 것이 중요하다.

그렇다면 미국의 제재 하에서 수세에 몰린 중국이 과연 반도체 장비 국산화에 성공할 수 있을까? 이건 바보 같은 질문이다. 시간의 문제이지 중국으로선 국산화를 반드시 해내야 하기 때문이다. 그렇다면 시간이 얼마나 걸릴까.

◆ 세계 15대 반도체 기업이 전체 시장의 82.6%를 독식

SEMI(세계반도체장비소재협회)의 '2016-2020년 세계 반도체 장비 시장 규모'를 보면, 2020년 시장은 전년대비 19.1% 늘어난 712억 달러에 달한다. 이중 중국은 세계 1위 187억 달러(비율 18.7%) 이고, 2위는 대만 172억 달러 (비율 17.15%), 3위는 한국 161억 달러(비율 16.1%) 순이다.

말하자면 중국은 반도체 장비 수요가 세계에서 가장 큰 나라라는 의미다. 특히 중국 반도체 장비시장은 2016년도 64.6억 달러에서 2020년 187.2억 달러로 2.9 배 성장했다. 연 평균 30.5%로 고속 성장 중이다.

다만 SEMI가 발표한 '2020년 세계 반도체 장비기업 TOP15'를 보면, 미국 4개, 일본 7개, 유럽 2개, 한국 1개, 기타지역 1개 사가 포함되어 있고, 중국 기업은 한개도 포함되어 있지 않다. 더욱이 이들 상위 15개 기업은 세계 시장의 82.6%를 독점하고 있는 것으로 나타났다.

더 나아가 반도체 세부 공정별로 보면, 분야별 TOP3기업이 각각 세부 시장의 70~99%를 독점하고 있다. 노광기는 ASML이 1위를 하고 있으며, 식각기는 미국의 LAM이 1위이고, CVD/PVD/ALD 및 열처리/연마 장비는 미국 AMAT이 1위를 차지하고 있다.

여기에 중국기업의 이름은 하나도 보이지 않는다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 2020 세계 반도체 장비 공정별TOP3 기업의 시장점유율 (출처: 화서증권(华西证券), 2021.6). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국 반도체 상장기업 TOP10

그럼 중국 반도체 장비분야에는 어떤 기업이 있을까.

시노리서치(CINNO Research)가 최근 발표한 '2021년 중국 본토 상장 반도체 장비 기업 매출 순위 Top10'에 따르면, 2021년 중국 본토에 상장된 반도체 장비업체 중 상위 10개사의 매출 합계는 182억 위안으로 전년대비 73% 증가했고, 사상 최대 실적를 기록했다.

1위는 중국 최대의 반도체 장비 기업인 베이팡화창(NAURA)이다. 이 업체는 증착(CVC/PVC) 장비 기술을 기반으로 하기 때문에 '중국의 AMAT'(어플라이드 머티리얼즈)라고도 불리우며, 매출은 전년 대비 71% 증가한 71억2000만 위안을 기록했다.

중국 반도체 장비2위 업체는 식각(Etching) 장비 전문기업 중웨이반도체(AMEC)다. '중국의 LAM'이라는 별명을 얻고 있고, 매출은 31억1000만 위안으로 전년 대비 37% 증가했다.

3위 성메이상하이(ACM Research)는 세정장비 전문기업으로, 2021년 매출은 15.5억위안이고 전년 대비 59% 증가했다.

중국 반도체 장비 4위 기업은 창촨과기(长川科技, Chang Chuan Tech, 300604.SZ)다. 이 회사는 2021년15억1000만위안,의 매출을 올렸다.

중국 반도체 장비 5위는 신이창(新益昌, Xinyichang Tech, 688383.SH)으로 매출이 9억1000만 위안에 달하고, 6위는 화펑처콩(华峰测控, AccoTest, 688200.SH)으로 8억8000만 위안의 매출을 기록하고 있다. 4위~ 6위 3개사는 모두 반도체 후공정 장비를 생산하고 있어 기술력은 크게 높지 않은 상황이다.

7위 신웬마이크로(KINGSEMI), 8 위 화하이칭커(HWATSING), 9위 퉈징과기(PioTech), 10위 즈춘과기(PNC)의 매출은 각각 8억3000만위안, 8억1000만 위안, 7억6000만 위안, 7억 1000만위안에 달하고 있다.

중국 반도체 장비 분야에 비상장 기업 중에도 눈여겨 봐야 할 기업들이 있다. 이탕반도체(Best-Semi)와 상하이마이크로(上海微电子, SMEE)는 중국 반도체 장비 산업의 중추적 역할을 하고 있다.

사실 이탕 반도체의 2020년 매출이 이미 23억위안을 넘었는데, 이는 성웨이 상하이의 매출보다 크며, 예정데로 상장이 된다면 중국 3위 반도체 장비기업으로 등극할 것이다.

또한 '중국의 ASML' SMEE가 비상장 기업으로서 매출을 공개하고 있지는 않지만, 후공정 및 90nm 이하 노광기만 가지고도 이미 상당한 매출을 올리고 있을 것으로 보인다. SMEE에 대해서는 시리즈 5회의 '중국 노광기' 편에 자세히 설명돼 있다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 2021년 중국 상장 반도체 장비 기업 Top10 (출처: 시노리서치 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국의 'AMAT' 베이팡화창(NAURA), 중국 최대 반도체 장비회사

베이팡화창(北方华强, NAURA, 002371.SZ)은 중국 최대의 반도체 장비 기업이다. 증착(CVD, PVD) 장비 전문기업으로 출발했지만 현재는 식각(ETCH), 열처리(RTP), 세정 장비 등 노광기를 제외한 모든 반도체 제조 장비를 출시했으며, 주요고객은 SMIC (중신국제)와 창장메모리(YMTC)이며, 중국의 거의 모든 반도체 공장과 거래하고 있다.

베이팡화창은 2001년 9월 베이징시 국유기업 '베이징전자지주'(北京电子控股, BEHC)의 손자회사로 설립되었다. 세계 최대의 LCD 기업 BOE(京东方, 경동방, 000725.SZ)가 바로 이 BEHC의 산하기업이다. BEHC는 또 스마트제조 장비 및 은행 ATM을 생산하는 쟈오웨이전자(兆维电子, C&W, 비상장)와 전력반도체 파운드리 옌동마이크로전자(燕东微电子, YDME, 비상장) 등을 소유하고 있다.

베이팡화창은 2018년 1월, 미국 펜실베니아주 아크리온 시스템(Akrion Systems)을 인수하고, 노라 아크리온(NAURA Akrion)을 설립하였으며, 본 인수합병을 통해 많은 선진 반도체 장비 기술을 흡수했다. 또한 같은 해에 베이팡화창 실리콘벨리 연구소를 설립했다. 이때 인수자금은 물론 2016년 국가반도체펀드가 베이창화창 7.5% 지분투자를 하면서 확보되었다.

또한 베이팡화창은 연구개발 및 생산시설 확충을 위해 두차례의 유상증자를 실시했는데, 2019년 11월에는 약 20억 위안을 조달했고, 2021년 4월에는 85억위안을 조달했다.

베이팡화창의 주요제품은 28nm LPCVD 증착기, 55-28nm PVD 증착기, 40~14nm 식각기, 28nm 이온주입기(ALD) 등 반도체 장비이다. 매출 비중은 반도체 제조장비 82%, 전자소자 18% 비율이며, 국내매출 비중이 97%를 차지하고 있어서, 외국산 반도체 장비의 중국 국산화 대체에 집중하고 있음을 알 수 있다.

2022년 상반기 실적 예측 발표에 의하면, 매출은 전년동기대비 40.0%가 증가한 50.52억위안이고, 순이익은 전년동기대비 130.1%로 대폭 늘어난 7.14억위안을 기록할 것으로 보인다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 베이팡화창의 대표적인 28nm LPCVD증착기 및 28-14nm FinFET식각기 (출처: 베이팡화창 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국의 'LAM' 중웨이반도체(AMEC), 5nm 식각기 TSMC 공급

웨이반도체(中微公司, AMEC, 688012.SH)는 중국 2위의 반도체 장비기업으로서,식각기를 전문 생산하기 때문에 '중국의 LAM'이라는 별명을 얻고 있다. 최근 전략투자를 통해 사업 확장을 추진 중이며, PECVD 장비 기업 퉈징과기(PioTech) 및 검사 장비 기업 루이리과학(RSIC)에 지분 투자했다. 이 회사는 한국에도 지사를 두고 있다.

AMEC은 2004년 5월 상하이시 국유기업 상하이창업투자(上海创业投资)의 자회사로 설립됐다. 후에 국가반도체펀드의 자펀드인 '쉰신(상하이)투자'(巽鑫(上海)投资)가 2대 주주로 들어섰다.

AMEC는 설립 이후 지속적으로 식각 장비를 개발했다. 2007년 첫번째 제품인 CCP 식각기 'Primo D-RIE' 개발을 성공하고, 2011년에는 'Primo AD-RIE'로 업그레이드 했다.

2012년에는 처음으로 MOCVD 장비 'Prismo D-Blue'를 개발하고, 2016년에는 ICP 식각기 'Primo Nanova'를 개발해냈다. 결정적으로 2018년에는 'Primo AD-RIE'를 다시 한번 업그레이드 해서 대만 TSMC의 5nm 공정에 납품하게 되었다.

최근 경영실적을 보면, 2022년 상반기 매출은 전년동기대비 43.9% 증가한 19.72억위안, 순이익은 전년대비 18.0% 증가한 4억7000만 위안을 기록할 것으로 예상된다. 이중 반도체 장비가 81%이고, 장비 부품은 18%를 차지했으며, 국내 비중이 86%, 대만 비중이 12%를 기록했다.

퉈징과기(拓荆科技, PioTech, 688072.SH)는 중국 제일의 40~28nm 플라스마 화학기상증착(PECVD) 장비 기술을 보유하고 있으며, 준기압 화학기상증착 (SACVD) 장비, 원자층증착(ALD) 장비를 출시했다. 이 회사는 2019년 중국반도체산업협회가 발표한 '중국 반도체 장비 5대 기업'에 선정되기도 했다.

퉈징과기는 2010년 4월 랴오닝성 션양시(沈阳市)에 설립되었고, 현재는 국가반도체펀드가 26.48% 지분을 보유한 1대 주주로 등재돼 있다. 국투(상하이)과학기술성과응용 펀드가 18.23% 지분을 보유한 2대 주주이지만, 2021년 9월 지분 11.2%를 인수한 AMEC이 3대 주주 자격으로 경영권을 행사하는 구조다.

루이리과학(睿励科学, RSIC Scientific Instrument, 비상장)은 28nm-14nm 12" 반도체 광학박막 측정 장비, 28-14nm 12" 광학외관 사이즈 측정 장비, 8"/12" 결함 검사 장비를 출시했다. 지분 구조는 중웨이반도체(AMEC) 20.45%, 상하이푸동신흥산업투자기금 15.04%, 국가반도체기금 8.78% 비율로 돼 있다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = AMEC의 최첨단 5nm CCP 식각장비 'Primo AD-RIE' (출처: AMEC 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

<필자 약력>

베이징대학 한반도연구소 연구원
중국 한국창업원 원장
SV인베스트먼트 고문
전 산업은행 베이징지점 고문
서울대 조선해양공학 학사/석사

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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[단독] KF-21, 내년 3월 양산 1호기 출고식 [서울=뉴스핌] 오동룡 군사방산전문기자 = 한국형 전투기(KF-21) 양산 1호기 출고 행사가 내년 3월 경남 사천 KAI 본사에서 열리는 방향으로 검토되고 있다. 뉴스핌이 단독 입수한 자료에 따르면, 당초 2026년 연말로 잡혔던 일정이 약 10개월 앞당겨지는 '조기 실전배치 시나리오'가 가시권에 들어온 것이다. KF-21(당시 KF-X) 사업은 2015년 방위사업추진위원회(방추위)가 약 8조원(70억~80억달러 수준) 규모의 체계개발을 승인하면서 본궤도에 올랐고, 인도네시아가 개발비 20% 분담을 약속하며 공동개발 파트너로 참여했다. 이후 설계안 확정(2019년)과 2020년 9월 최종조립 착수 과정을 거쳐 2021년 4월 시제 1호기(001번기) 출고 및 명명식에서 공식 제식명 'KF-21 보라매'가 부여됐다. 지난해 11월 29일 1000소티 비행을 달성한 한국형 전투기 KF-21. 이로써 전체 약 2000소티 중 절반을 완료하며 반환점을 돌았다. [사진=한국항공우주산업] 2025.12.09 gomsi@newspim.com 시제기는 단좌 4대·복좌 2대를 포함해 총 6대가 제작됐고, 2022년 7월 첫 비행에 성공한 뒤 2023년 초음속 돌파, 야간·무장분리 시험을 포함해 2024~2025년까지 누적 2000회 수준의 시험비행을 소화하면서 블록Ⅰ(공대공 중심) 체계개발 막바지 단계에 올라와 있다. 방위사업청과 공군은 이 시험 데이터를 토대로 2026년까지 '초도양산+작전운용시험·평가'를 동시에 진행해 공군 F-4E, F-5 등 노후 3세대 전투기를 순차적으로 대체한다는 이정표를 세워왔다. 당초 KF-21 양산기 전력화 로드맵은 2024년 양산계약, 2025년 최종조립, 2026년 하반기 대량 양산 출고 및 전투적합 판정, 2026~2028년 초도 대대급 배치 순으로 짜여 있었다. 실제로 방추위는 2025년 3월께 '올해 20대·내년 20대' 방식의 1·2차 양산계약(20+20대)을 의결했고, 1조9000억원 안팎(1차 20대 기준 약 1조9000억원)의 초도 물량 계약이 체결되면서 사천 KAI 공장은 2025년 5월부터 양산 1호기 최종조립에 들어간 상태다. 이 기본 시나리오에서 2026년 연말로 잡혀 있던 '양산 출고식'을 10개월가량 당겨 2026년 3월 사천에서 여는 방향으로 급선회한 것이다. 업계에선 "양산 1호기·2호기를 포함한 초기 물량의 기체·엔진·전장 계통 신뢰성 검증이 예상보다 순조롭고, 공군의 F-4E 조기 퇴역·북한 핵·미사일 위협 고도화에 따른 전력 공백 우려가 일정 단축으로 이어진 것"이라고 말하고 있다. 2015년 개발 승인 이후 만 10년 만에 양산형을 내놓는 만큼, 대통령 참석을 전제로 한 '국가급 이벤트'가 될 것이란 전망이 업계에 확산되는 분위기다. KF-21 시제 1호기 출고식은 2021년 4월 경남 사천 KAI 본사에서 문재인 당시 대통령이 참석한 가운데 열렸고, 그 자리에서 "2032년까지 120대 실전배치" 목표가 공개되면서 한국의 '8번째 초음속 전투기 개발국' 도약을 대내외에 과시한 바 있다. [사천=뉴스핌]문재인 대통령이 9일 경남 사천시 고정익동 한국항공우주산업(KAI)에서 열린 한국형전투기 'KF-21 보라매' 시제기 출고식에서 기념사를 하고 있다. [사진=청와대] 2021.04.09 photo@newspim.com 내년 3월로 예고되는 이번 출고행사는 시제기가 아닌 '양산형 1호기'가 주인공인 만큼, 시제기 롤아웃 이후 약 4년 만에 현직 대통령이 다시 사천을 찾는 장면이 연출될 가능성이 높다. 특히 이재명 대통령은 최근 아랍에미리트(UAE)를 포함한 중동 순방 과정에서 KF-21을 한국 방산 수출 패키지의 핵심 품목으로 전면에 내세우며, 향후 수출형 블록Ⅱ·블록Ⅲ 개발과 현지 공동생산·부품 협력 구상을 함께 홍보해 왔다. 대통령실과 국방부, 산업부 안팎에선 "양산형 출고식이 사실상 '수출형 보라매'의 첫 공개 무대가 될 수 있는 만큼, 대통령 주관 행사로 격상할 명분이 충분하다"는 기류가 감지된다. 현 시점에서 군·방산업계가 그리는 '3·6·9 시나리오'의 뼈대는 비교적 선명하다. 내년 3월 사천 출고식을 통해 양산 1호기를 공개하고, 6월까지 공군·방사청 공동의 전투적합 판정(전투운용능력 평가)을 마친 뒤, 9월 전후로 공군 작전부대에 초도 인도를 시작한다는 시간표다. KF-21 블록Ⅰ양산기는 2026년 상반기 대량 출고 이후 강릉 제18전투비행단과 예천 제16전투비행단에 각각 1개 전투비행대대(20대 안팎) 규모로 나뉘어 초도 배치되는 방안이 유력하게 거론된다. 이어 2028년 이후 공대지·다목적 능력을 강화한 블록Ⅱ 80대는 횡성 제8전투비행단, 충북 지역 제19전투비행단 등으로 확산 배치돼 공군의 F-5, 구형 F-16 전력을 단계적으로 완전히 대체하는 계획이다. 지난 11월 5일 국산항공기 FA-50와 함께 비행하는 손석락 공군참모총장의 KF-21. [사진=공군 제공] 2025.12.09 gomsi@newspim.com KF-21 사업은 개념연구 착수(2000년대 초) 이후 예산·기술 이전 문제로 수차례 좌초 위기를 겪었지만, 2015년 개발 승인 이후 10년 만에 양산형 출고 단계에 진입했다. 방산업계에서는 "전투기 체계개발-양산-수출까지 독자 사이클을 돌리는 소수 국가 반열에 올랐다"고 이구동성으로 이야기하고 있다. 방산업계의 한 관계자는 "KF-21 양산형 출고는 단순히 새 전투기를 들여놓는 차원을 넘어, 한국이 10년 주기의 전투기 개발·개량 사이클을 스스로 설계해 가는 수준으로 성장했음을 보여준다"며 "2015년 개발 승인에서 2025년 양산 1호기, 2032년 120대 전력화로 이어지는 연표는 한국이 명실상부 '전투기 개발·수출국'으로 올라섰다는 증표"라고 했다. gomsi@newspim.com 2025-12-09 11:38

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공수처, 조희대 대법원장 입건 후 사건 검토 [과천=뉴스핌] 김현구 기자 = 고위공직자범죄수사처(공수처)가 조희대 대법원장을 입건하고 본격적인 사건 검토에 들어갔다. 공수처 관계자는 9일 정례 브리핑에서 "(조 대법원장) 고발건은 한 두건이 아니다. 어떤 건은 수사 4부, 어떤 건은 1·3부 등에 있다"고 밝혔다. 오동운 고위공직자범죄수사처장. [사진=뉴스핌DB] 공수처는 고소·고발이 접수되면 선별해 사건화하는 것이 아닌 '자동입건' 시스템으로 운영하고 있다. 다수의 고소·고발이 접수된 조 대법원장은 피의자 신분이 유력하다. 조 대법원장은 대선 후보 시절 이재명 대통령의 '공직선거법 위반 사건'을 파기환송하고, 윤석열 전 대통령 사건을 지정 배당했다는 의혹 등을 받고 있다. 아울러 공수처는 최근 전현희 전 국민권익위원회 위원장(현 더불어민주당 의원)에 대한 감사원의 '표적 감사 의혹' 수사에도 속도를 내고 있다. 해당 사건은 최재해 전 감사원장과 유병호 전 감사원 사무총장(현 감사위원) 등이 2022년 전 전 위원장을 사직시키기 위해 특별 감사를 진행했다는 내용이다. 이와 관련해 공수처 수사1부(나창수 부장검사)는 지난 4일 감사원 운영쇄신태스크포스(TF)와 심의지원담당관실 등을 압수수색했다. 다만 공수처는 사건의 처분 시기 등에 대해선 말을 아꼈다. 공수처 관계자는 "(처분 시기는) 수사팀이 결정할 문제이기 때문에 언제 (처분한다)고 말하기 어렵다"고 전했다. 한편 공수처는 윤 전 대통령 사건을 심리하고 있는 지귀연 서울중앙지법 부장판사의 '술자리 접대 의혹' 수사도 진행하고 있다. 지난 5월 김용민 민주당 의원은 법사위 전체회의에서 "지 부장판사가 1인당 100만~200만원 정도의 비용이 나오는 고급 룸살롱에서 여러 차례 술을 마셨고 단 한 번도 돈을 낸 적 없다는 구체적이고 신빙성 있는 제보를 받았다"며 의혹을 제기하고 관련 사진을 공개했다. 이후 대법원 법원감사위원회는 해당 의혹을 심의한 후 "현재 확인된 사실관계만으로는 지 부장판사에게 징계사유가 있다고 판단하기 어려우므로, 수사기관의 조사 결과를 기다려 향후 드러나는 사실관계가 비위행위에 해당할 경우 엄정하게 처리할 것"이라는 결론을 내렸다. 이와 관련해 공수처는 사건을 수사3부(이대환 부장검사)에 배당했고, 수사팀은 최근 그에 대한 압수수색을 진행하는 등 수사에 속도를 내고 있다. 공수처는 택시 앱 사용 기록 등과 달리 신용카드 사용 내역 등은 확보하지 못한 것으로 알려졌다. hyun9@newspim.com 2025-12-09 11:15