[서울=뉴스핌] 최원진 기자= 세계적인 첨단 반도체 제조장비 업체 ASML이 내년부터 중국에 대한 장비 유지 및 보수 서비스 제공에 제한을 받게 될 것이라고 블룸버그 통신이 복수의 소식통을 인용해 29일(현지시간) 보도했다.
소식통들에 따르면 네덜란드 정부는 올해 말로 만료되는 ASML의 대(對)중국 유지·보수 서비스와 예비 부품 제공 라이선스를 갱신하지 않을 가능성이 크다.
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| 네덜란드 남부 노르트브라반트주 에인트호번에 위치한 반도체 제조장비 업체 ASML 본사. [사진=로이터 뉴스핌] |
만료될 라이선스 대상에 심자외선(DUV) 리소그래피 장비도 포함할 것으로 예상된단 전언이다.
이는 중국에 큰 타격이다. 중국은 아직 최첨단 반도체를 생산할 수 있는 장비를 아직 개발하지 못한 상황이고 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 경우 수입이 막혀 ASML의 DUV 리소그래피 시스템에 의존해 칩 제조 기술을 발전시키고 있기 때문이다.
반도체 제조장비 업계 선두 주자인 ASML은 반도체 제조 장비 판매시 가동 유지에 필수적인 유지 관리 계약을 함께 체결하는데, 이러한 지원이 철회될 경우 일부 장비의 작동이 불가할 수 있다.
네덜란드 정부의 이번 결정은 미국의 압력 때문으로 해석된다. 조 바이든 행정부가 추가 대중 반도체 수출 규제를 준비 중인 것으로 알려졌는데 '해외 직접 생산 규제'(FDPR)를 적용할 것이란 관측이 나온다.
FDPR은 미국이 아닌 국가에서 생산된 제품이어도 미국산 기술이나 소프트웨어를 사용한 제품일 경우 미국 정부가 해당 제품의 판매를 금지할 수 있도록 한 제재다.
반도체 제조 장비 국가들로는 네덜란드 말고도 한국, 일본 등이 있다. 미국이 FDPR로 동맹국들이 대중 반도체 제재에 동참을 끌어낼 것이란 예측이다.
wonjc6@newspim.com
