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[뉴스핌라씨로] 에프에스티, 'EUV 펠리클' 시제품 생산..."이달 시양산 시설 완료" ... CTT리서치에 따르면 EUV 펠리클의 가격은 2000만~3000만원 수준으로 ArF 펠리클 대비 50배를 넘는... 2025-01-16 09:17

제이오, 인하대학교와 'CNT 멤브레인 기술 이전' 협약 ... 탄소나노튜브 펠리클은 기존 실리콘 소재의 EUV 펠리클보다 내구성이 2배 강해 향후 도입될 하이-NA EUV... 2024-12-10 09:43

[리포트 브리핑]이수페타시스, '흔들림 없는 본업 중 뜬금없는 신규 사업 진출' 목표가 35,000원 - 한국투자증권 ... 차세대 이차전지 도전재로 각광받는 CNT가 향후 반도체 펠리클(노광 공정에서의 포토마스크를 보호하는 박막),... 2024-11-15 09:13

이수페타시스, 5500억원 규모 유상증자...AI 글로벌수요 대응·첨단소재 기업 인수 ... 이러한 CNT는 이차전지 특수소재(도전재)로 산업 개화를 시작했으며, 반도체 펠리클 소재, 우주항공 소재 등으로... 2024-11-11 08:34

제이오, 차세대 'EUV 펠리클용 CNT 멤브레인' 기술 개발 착수 ... CNT 펠리클은 기존 실리콘 소재의 EUV 펠리클보다 내구성이 2배 강해 향후 도입될 하이-NA EUV 공정에... 2024-10-07 09:46

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