전체기사 최신뉴스 GAM
KYD 디데이
중국 정책

속보

더보기

[유망업종] 국산화 '훈풍'과 수요 급증,중국 반도체 장비 산업 호황

기사입력 : 2020년11월03일 07:37

최종수정 : 2020년11월03일 10:35

세계 2위 반도체 장비 시장으로 성장
반도체 및 관련 장비 국산화 정책 추진
2000억 위안 2차 대기금 반도체 장비에 투자 집중

[서울=뉴스핌] 강소영 기자= 중국 정부가 '과학기술 자립자강'을 향후 경제발전과 안보의 핵심 과제로 제시했다. 지난달 30일 폐막한 5중전회(중국공산당 19기 중앙위원회 5차 전체회의)에서 이를 명문화했다. 과학기술의 발전만이 중국의 안보와 민생안정을 보장할 수 있다는 중국 공산당의 신념을 드러냈다. 이를 위해 향후 5년의 경제개발 계획인 14.5 규획을 통해 관련 산업 육성과 지원이 집중적으로 이뤄질 전망이다.

중국 과학기술의 '독립'의 최우선 과제는 반도체 '국산화'다. 미국의 화웨이 '봉쇄'에서 반도체가 중국의 최대 약점 중 하나라는 것이 여실하게 드러났다. 이 때문에 중국은 수입에 절대적으로 의존하는 반도체 국산화에 총력을 기울이고 있다. 대기금(大基金)으로 불리는 국가집적회로산업투자기금을 조성해 반도체 산업 육성에 나섰고, 화웨이 등 중국 기업들도 반도체 기술력 향상을 위해 팔을 걷어붙였다.5G·사물인터넷·스마트 도시와 차 등 첨단 산업의 고속 발전은 중국 국산 반도체 시장의 든든한 성장 기반이 되고 있다. 

반도체 국산화 열풍 속에서 반도체 제조에 필수적인 관련 장비 산업도 호황을 누리고 있다. 고성능 반도체와 마찬가지로 반도체 장비 역시 수입에 의존하고 있는 중국은 장비 제조 기술력 향상에도 역량을 집중할 전망이다.

◆ 세계 2위 반도체 장비 시장 부상 

2013~2019년 중국의 반도체 장비 시장 규모는 꾸준한 성장세를 유지했다.  중국 첸잔연구소(前瞻研究所)의 보고서에 의하면, 2019년 기준 중국의 반도체 장비 시장 규모는 134억5000만 달러(약 15조 2500억 원)로 글로벌 시장의 비중이 22.51%에 달한다. 1위인 대만의 시장 규모는 171억2000만 달러, 전 세계 시장 비중은 28.65%로 집계됐다. 3위는 한국으로 규모 99억7000만 달러, 글로벌 시장 비중은 16.69%이다. 

특히 2020년 1분기에는 코로나19 바이러스 팬데믹에도 중국 반도체 장비 시장 규모가 전년 동기 대비 48%나 늘어난 35억 위안(약 5932억원)에 달했다. 

중국 화태증권(華泰證券)의 최신 연구 보고서에 따르면, 2019년 4분기부터 2020년 2분기까지 중국의 분기별 반도체 장비 판매량이 전년 동기 대비 각각 60%, 48%와 37%가 증가했다. 같은 기간 글로벌 시장의 반도체 장비 판매량 증가율은 27%, 33%과 40%로 집계됐다. 코로나19의 영향에서 전 세계 시장의 반도체 장비 수요가 왕성해지고 있음을 보여주는 수치다. 특히 중국 시장 수치는 글로벌 수준을 크게 웃돌고 있다.

중국 반도체 장비 판매량 급증은 중국 내 반도체 생산량이 큰 폭으로 늘어났음을 시사한다. 1기 대기금 투입을 통한 생산 확대가 활발히 이뤄지고, 중국 정부는 2기 대기금을 반도체 장비 분야에 집중 사용할 계획이다. 

우한 소재 중국 반도체 생산기업 양쯔메모리(중국명: 창장춘추·長江存儲)는 반도체 생산량 확대를 위해 8월 이후 대규모 제조 장비 확충에 나섰다. 1차 입찰에서 중국의 반도체 장비 기업 중미공사(中微公司), 북방화창(北方華創), 상해정측(上海精測), 중과비측(中科飛測), 성미고빈(盛美股份), 화해청과(華海清科), 흘당(屹唐) 등이 낙찰됐다.

2020년 이후 중국 반도체 기업의 장비 입찰에서 중국 기업의 낙찰 비율은 △에칭장비(중미공사 15%, 북방화창 9%) △ CVD(심양탁형 3%) △ PVD(북방화창 57%) △ 테스트(상해정측 6%) △ 열처리(북방화창 28%) △ 세정(성미구민 31%) △ CMP(화해청과 38%)로 집계됐다.

중국의 반도체 장비 확대는 5G 상용화, 빅데이터, 사물인터넷, 스마트 도시 건설, 스마트 자동차 등 다양한 산업에서 첨단 반도체 수요가 늘어나고 있는데 따른 결과로 풀이된다. 

반도체 국산화 정책과 함께 커촹반(科創板·과학기술 기업 전문 시장) 시장도 장비 산업 발전을 위한 '자금원' 역할을 하고 있다. 10월 15일 CMP 설비 기업 화해청과가 커촹반 IPO 공모 투자 설명서를 발표했고, 10일에는 2019년 7월 커촹반에 상장한 중미공사가 유상증자 방안을 밝혔다.

중미공사는 조달한 자금을 기초로 사업 분야를 현재의 에칭장비 중심에서 박막증착, 테스트 등 설비로 확대할 계획이다. 또한, 증자로 조달한 자금을 생산단지 조성과 연구개발 센터의 상품라인 확장 개발에 사용할 방침이다. 화해청과는 반도체 장비 업그레이드와 설비 연구개발, 웨이퍼 재생 기술 강화에 사용할 것이라고 밝혔다. 

2019년 상하이증권거래소에 설립된 과학기술 전문기업 시장 커촹반에는 10월 20일 기준 183개 기업을 상장을 했고, 이 가운데 31개가 반도체 관련 기업으로 업종별 가장 높은 비중을 차지하고 있다. 

◆ 반도체 장비 국산화 가속, 관련 기업 기술력 현황 

중국에 있어 반도체는 국가 안보를 수호하고, 미국 등 서방 세계의 견제에 대응하기 위한 내수 중심형 경제 구조를 실현하기 위한 핵심 전략 도구와도 같다. 그럼에도 첨단 반도체는 수입에 의존하고 있고, 반도체 제조 설비 역시 국산화 비율이 매우 낮은 것이 현실이다. 

반도체 제조 과정은 간단하게 실리콘 웨이퍼 위에 증착공정(여러 단계의 박막을 입히는 과정), 포토 공정(회로 패턴을 그리는 과정), 에칭(식각)공정(불필요한 부분을 제거)으로 설명할 수 있다. 이 과정에서 다양한 장비가 사용된다. 

중국에서 국산화에 도달했다고 볼 수 있는 장비는 디스펜서 정도다. 디스펜서는 반도체 소자 보호·세척 및 도포를 위해 화학물질을 도포하는 액체분사 장치로 북경 흘당반도체(屹唐半導體)가 중국 시장의 90%를 점유하고 있다. 

그 외에 세정·에칭(식각)·열처리 장비의 국산 제품 시장 점유율은 20% 내외 수준이다. 증착공정인 PVD와 CMP 설비의 자급률은 10% 미만이다. 포토공정에 필요한 트랙 장비의 국산 비율은 1%에도 훨씬 못 미친다. 

중국 반도체 장비 기업도 대부분 중소 규모 수준이다. 중국 전자전용설비공업협회에 따르면, 2019년 중국 상위 10개 반도체 장비 기업의 매출 총액은 143억4300만 위안(약 2조 4300만 원)이었다. 

같은 기간 세계 1위 반도체 장비 기업인 미국의 어플라이드머티리얼즈의 매출액은 130억 4600만 달러(약 14조 7900만 원), 2위인 네덜란드의 ASML은 120억 7600만 달러에 이른다. 중국 상위 10개 기업의 매출을 합해도 글로벌 1위 기업의 15% 수준에 그친다. 이는 중국에서 사용되는 대다수의 반도체 장비가 수입에 의존한다는 것을 보여준다. 

◆ 에칭장비, 국산화 목표 조기 달성 기대 

에칭(Etching, 식각)공정은 웨이퍼에 회로 패턴의 밑그림을 그리는 포토 공정 다음에 이뤄지는 작업이다. 포토 공정을 통해 남겨야 하는 부분에 부식 방지 막을 입힌 후 식각 공정에서 액체 혹은 가스를 통해 불필요한 부분을 부식해 제거하는 작업이다.

글로벌 시장에서 에칭 장비 시장 규모도 빠르게 성장하고 있다. 플래시 메모리 기술 돌파로 인한 메모시 산업 발전에 힘입어 2013년 40억 달러였던 에칭 장비 시장 규모가 2019년 100억 달러를 넘어 115억 달러에 달했다.

국제반도체장비재료협회(SEMI)는 2025년까지 에칭 장비 시장이 연간 12%의 속도로 성장, 2025년 글로벌 시장 규모가 155억 달러에 달할 것으로 내다봤다. 

중국 에칭장비 기업은 가스를 통한 건식 식각 장비 부문에 기술력이 앞서 있는 편이다. 에칭장비의 국산화 비율은 20% 내외로 대표 기업으로는 중미반도체(AMEC), 북방화창 등이 있다.

건식 식각은 다시 크게 유전체 식각, 금속 식각과 실리콘 식각으로 공정 방법을 분류한다. 중미반도체(中微半導體)는 유전체 식각 장비가 주력 상품으로 현재 기술 최고 5nm 수준이다. 자체개발한 플라스마 5nm 식각기가 전 세계 최대 파운드리 기업인 대만의 TSMC에 50대 이상 납품됐다. 현대 3nm 기술을 개발중이다.

북방화창은 금속 식각기와 실리콘 식각기를 생산한다. 28nm 수준의 실리콘 식각기를 20대 이상 판매했고, 현재 14-5nm 기술을 연구하고 있다. 금속 식각기는 28nm 기술을 확보했고, 14nm 기술을 개발하고 있다.

첸잔산업연구원은 반도체 핵심 장비 가운데 에칭 설비의 국산화 진척이 다른 분야에 비해 빠르게 진행되고 있다고 평가했다. 

 ◆ 기술력 향상 가속화, 박막증착 설비 

박막증착 설비도 중국 반도체 장비 업계의 기술 발전이 빠른 분야 중 하나다. 박막이란 반도체 1마이크로미터(µm) 이하의 아주 얇은 막을 의미하고, 이 박막을 웨이퍼에 입히는 것을 증착이라고 한다. 이 분야의 중국 선두 기업은 북방화창과 심양탁형이다. 북방화창은 금속 증착에 주로 사용하는 물리기상증착법(PVD) 기기, 유전체 혹은 실리콘에 사용하는 화학기상증착법(CVD) 그리고 이 두 기술의 단점을 보완한 최신 기술인 원자층 증착법(ALD) 장비를 모두 생산하고 있다. 

두 기업의 기술 수준은 현재 28/14nm 두께 박막증착까지 도달했고, 7/5nm 기술을 연구하고 있다. 특히 최근 몇 년 박막증착 부문의 기술 향상이 빠르게 진행되고 있다. 올해 4월 7일 북방화창은 저기압(LP) CVD 최신 장비를 중국 반도체 대기업에 납품하면서 기술력을 인정받았다.  

 ◆ 반도체 장비 사실상 '불모지', 33조원 2차 투자기금 투입 

반면 노광기, 세정, 테스트, 패키징 장비 분야에선 성장이 여전히 더딘 상황이다. 특히 노광기는 중국이 기술 발전을 위해 노력하고 있는 분야지만 국산화까지는 갈길이 멀다. 

반도체의 노광 공정은 마스크(미세한 전자회로가 그려진 유리판)에 빛을 투과해 웨이퍼 표면에 회로 패턴을 입히는 작업을 가리킨다. 이는 노광장비를 통해 이뤄진다. 

중국에서 노광기를 생산할 수 있는 기업은 '상해미전자장비유한공사(上海微電子裝備有限公司)' 한 곳뿐이다. 이 기업이 현재 양산이 가능한 노광기 성능은 90nm 수준이다. 반면 네덜란드 ASML 노광기의 성능은 7nm으로 중국 기업과 큰 격차로 앞서고 있다. 

중국 국내에서 세정 및 테스트 장비를 제공하는 기업도 매우 적다. 패키징 장비 분야도 불모지나 다름없는 상황이다. 이런 문제점을 인식한 중국 정부는 에칭설비, PVD 및 CVD 설비, 세정설비 등 반도체 장비 분야에 2차 대기금 투자를 집중할 계획이다. 2차 대기금 규모는 2000억 위안(약 33조원)이다. 

jsy@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
폭염에 '온열질환자' 속출…환자 425명 [세종=뉴스핌] 신도경 기자 = 지난 30일 서울 전역에 첫 폭염주의보가 시작되면서 올해 온열질환자가 400명을 넘었다. 1일 질병관리청의 온열질환 응급실 감시체계에 따르면 지난 5월 15일부터 6월 29일까지 집계된 온열질환자는 425명으로 사망자는 3명에 달했다. 온열질환은 더운 날씨로 인해 열탈진, 열사병, 열 부종 등이 발생하는 질환이다. 40도 이상의 고열이나 현기증, 두통, 오한 등이 나타난다. [서울=뉴스핌] 김학선 기자 = 서울 전역에 올해 첫 폭염주의보가 발효된 30일 오후 서울 성동구 마장역 인근에서 시민들이 양산을 쓰고 뜨거운 햇볕을 피해 걷고 있다. 2025.06.30 yooksa@newspim.com 기상청은 지난 30일 서울 전역과 경기도 과천, 성남, 구리, 화성에 올해 첫 폭염주의보를 발령했다. 경기도 가평, 광주는 폭염주의보가 폭염경보로 격상됐다. 1일에도 서울의 낮 최고기온은 30도, 강릉 35도, 대전 32도, 광주 35도, 제주 31도로 더운 날씨가 계속될 전망이다.  날씨가 더워지면서 온열질환자 수도 점차 늘고 있다. 지난 5월 15일부터 5월 31일까지 온열환자 수는 62명으로 사망자는 없었다. 이 기간 중 하루 최대로 발생한 온열질환자 수는 21명이다. 반면 지난 28일에는 하루 최대로 발생한 온열질환자 수가 52명으로 늘었다. 지난 1일부터 29일까지 집계된 온열질환자 수는 361명으로 사망자는 3명에 달하며 급증하는 모양새를 보이고 있다.  연령별 현황에 따르면 온열질환자는 대부분 고령층에서 발생했다. 60대가 78명(18.4%)으로 가장 많았고, 50대 70명(16.5%), 30대와 40대는 각각 61명(14.4%)으로 집계됐다. 온열질환자가 속출하는 직업은 미상을 제외하고 단순 노무 종사자로 68명(16%)에 달했다. 농림어업숙련종사자 40명(9.4%), 무직 39명(9.2%) 순으로 나타났다. 열탄진으로 인한 온열질환자는 222명(52.2%)로 대부분을 차지했다. 열사병 85명(20%), 열경련 61명(14.4%), 열실신 53명(12.5%)이다. 하루 중 온열질환이 가장 많이 발생한 시간대는 오후 4∼5시(13.6%)다. 오전 10∼11시(11.8%), 오후 3∼4시(11.5%) 등의 순이었다. 온열질환을 예방하기 위해서는 물을 자주 마시고 시원한 곳에서 지내야 한다. 더운 시간대의 활동을 자제하는 것도 중요하다. 특히 체온 조절이 원활하지 않은 만성질환자, 어린이, 어르신은 더위에 오래 노출되지 않도록 더욱 주의해야 한다. 육현 원주세브란스기독병원 응급의학과 교수는 "온열질환은 충분한 수분을 섭취하고 더운 낮 시간대 활동을 피하는 것만으로 예방이 가능한 질환"이라며 "방치할 때 생명을 위협할 수 있어 각별한 주의가 필요하다"고 했다. 이어 육 교수는 "열사병, 열탈진, 열경련 등 온열질환이 발생할 경우 체열을 신속히 낮추는 것이 가장 중요하다"며 "옷을 느슨하게 풀고, 찬물에 적신 수건을 몸통에 덮거나 겨드랑이와 사타구니 부위에 찬 물병이나 선풍기 바람을 활용해 체온을 낮추는 응급조치가 도움 될 수 있다"고 강조했다. sdk1991@newspim.com 2025-07-01 11:24
사진
내란 특검 "5일 오전 9시까지 출석 통지" [서울=뉴스핌] 김현구 기자 = '내란 특검(특별검사)'이 1일 윤석열 전 대통령 측에 2차 소환조사 일자를 다시 통지했다. 특검팀이 다시 통지한 일자는 오는 5일 오전 9시다. 박지영 특별검사보(특검보)는 이날 오전 브리핑에서 "윤 전 대통령이 금일 특검 출석에 응하지 않고 불응했다"며 "윤 전 대통령에게 오는 5일 오전 9시까지 출석하라고 통지했다"고 밝혔다. 윤석열 전 대통령. [사진=뉴스핌DB] 박 특검보는 "(윤 전 대통령이) 5일 오전 9시 출석하지 않는 경우 어떻게 조치할 것인가"라는 질문에 "전날 윤 전 대통령 측이 제출한 의견서에서 5일 이후 출석에는 응하겠단 의사를 밝히고 있다"고 답했다. 이어 "만약 그때도 출석에 응하지 않으면 요건이 다 갖춰진 이상 법원에서도 (체포영장을) 내주지 않을까 생각한다"고 덧붙였다. 앞서 박 특검보는 특검이 재통보한 일정에 윤 전 대통령이 응하지 않는 경우 형사소송법상 마지막 단계의 조치를 취할 것이라고 말한 바 있다.   hyun9@newspim.com 2025-07-01 11:29
안다쇼핑
Top으로 이동