[세종=뉴스핌] 오승주 기자 =반도체 초순수 설계‧운영기술의 자립화 및 반도체폐수 재이용률 향상을 위한 국가 기술개발사업이 추진된다.

환경부는 29일 홍남기 부총리 겸 기획재정부 장관 주재로 열린 BIG3 산업별 중점 추진과제에서 반도체 초순수 생산 국산화 기술개발 추진방안을 확인했다.

정부는 2019년 8월 일본 정부의 반도체 분야 수출 규제 대응의 일환으로 반도체 활용 공업용수 공정 국산화 추진중이다. 무엇보다 고순도 공업용수 생산에 필요한 부품‧소재 대부분이 대외 의존도가 높은 상황이다.

[세종=뉴스핌] 오승주 기자 = 반도체 초순수 기술개발 로드맵 [자료=환경부] 2021.07.29 fair77@newspim.com

초순수(Ultra pure water)는 물 속에 포함된 불순물(전해질, 유기물, 미생물, 생균, 미립자, 부유고형물 등)들을 극히 낮은 값으로 억제한 이론순수에 가장 근접한 물로 반도체 산업에 필수불가결한 핵심 포인트다.

환경부는 반도체 산업에 필수적인 고순도 공업용수 생산기술 국산화와 반도체 산업폐수 재이용 향상 기술개발을 통한 국가 물산업 경쟁력 확보에 집중한다.

총 480억원(국고 300억원)을 들여 올해부터 2025년까지 5년간 고순도 실증플랜트 구축(상용화 수준)하고, 폐수 재이용률을 향상(63%→70%)시킨다는 계획이다.

반도체 생산기업과 협업해 범용성 기술확보 추진하고, 2026년부터는 중장기적으로 실제 규모 플랜트 설립을 위한 2차 기술개발(R&D)를 추진할 방침이다.

폐수 재이용은 정부와 기업간 역할분담을 통해 폐수 재이용 기술을 신속 개발하고, 종합반도체는 민감·핵심 기술 보호를 위해 기업 주도로 기술개발을 추진하되, 국가가 간접지원하는 방식이다.

반도체 생산 이후 나오는 '반도체 재폐수'도 정화를 통해 재사용할 예정이다.

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