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[서울=뉴스핌] 배요한 기자 = 반도체 식각 공정용 소재·부품 전문 기업 비씨엔씨가 신소재 CD9(보론카바이드)을 활용한 포커스링(Focus Ring) 제품 개발이 순항 중이다. 회사 측은 내년 상용화를 목표로 글로벌 탑티어 반도체 제조사들과 막바지 테스트를 진행 중이다.
CD9은 기존 CVD-SIC 단점을 보완한 소재로 식각 공정 시 불순물(파티클)이 적게 발생해 수율이 비교적 높고, 고강도, 고내구성으로 수명이 길다는 장점이 있다.
14일 비씨엔씨 관계자는 "초미세화, 고단화 되어가는 반도체 생산 공정의 기술발전에 대응하기 위해 CD9 신소재를 개발해 고객사 테스트를 진행중에 있으며, 내년 본격적인 상용화에 나설 것으로 예상한다"고 밝혔다. 이어 "CD9은 CVD SiC와의 비교 테스트에서 우수한 결과값을 보였으며, 칩 수율 또한 우수한 결과를 보였다"고 말했다.
기존 식각공정 장비용 부품인 SiC 포커스링은 현재 반도체 공정 챔버내에서 사용되고 있다. 포커스링은 웨이퍼를 감싸고 있는 부품으로 공정 과정을 거치며 가장 빠르게 마모되기 때문에 부품을 적시에 교체해주지 못하면 파티클 이슈가 발생한다. 챔버 내부 웨이퍼가 오염되면 공정 효율성이 떨어질 뿐만 아니라 웨이퍼(Wafer) 가장자리 부위의 균일성이 떨어져 수율이 하락하게 된다고 회사 측은 설명했다.
비씨엔씨는 2019년 설비 구축을 완료하고 같은해 고객사 첫 테스트를 시작으로 2020년에는 양산성능평가(S사 메모리 사업부와 진행)를 진행했으며, 올해는 고객사들을 대상으로 3년째 테스트를 진행하고 있다. 현재 삼성전자, 소니, 세메스, 인텔을 대상으로 고객사 테스트를 진행 중인 것으로 알려졌다. 회사는 내년부터 신소재 CD9 제품 상용화에 나서 글로벌 점유율 확대에 나선다는 목표다.
회사 관계자는 "신소재 개발을 통해 쿼츠, 실리콘, 세라믹 위주의 부품 사업구조에서 포트폴리오를 다각화하고 있다"며 "이를 통해 기존 반도체 부품 회사에서 소재 회사로 제2의 도약을 이루고자 한다"고 밝혔다.
비씨엔씨는 CD9의 시장규모가 1조8000억원(2021년 기준)에 달할 것으로 추정했다.
한편 비씨엔씨는 반도체 제조공정에 사용되는 소모성 부품을 생산하는 기업이다. 대표적으로 합성쿼츠, 천연쿼츠, 실리콘, 세라믹 등의 소재 개발과 부품을 제조하고 있다. 합성쿼츠 원재료인 QD9+를 개발해 내년 1분기 양산을 목표로 하고 있다.
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