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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 장비 전문기업 예스티가 고압어닐링(High Pressure Annealing·HPA) 장비의 상용화를 위한 본격적인 행보에 나섰다. 현재 국내외 반도체 고객사를 대상으로 장비 프로모션과 평가가 진행되고 있으며, 연내 수주 등 시장 진입이 가시화될 것으로 전망하고 있다. 

예스티 관계자는 20일 "일부 고객사는 장비 평가를 모두 마쳤고, 일부는 최종 웨이퍼 테스트만 남겨둔 상황이다"며 "올해는 시장 진입을 목표로 하고 있으며 본격적인 매출은 내년을 전망한다"고 말했다.

HPA 장비는 반도체 산화 공정에서 발생하는 웨이퍼 표면의 결함을 수소나 중수소로 치환해 특성과 수율을 향상시키는 장비다. 기존 제품이 최대 75매의 웨이퍼를 처리할 수 있는 데 비해, 예스티 장비는 최대 125매까지 동시에 처리 가능해 생산성이 약 60% 향상된다.

이 장비는 고도화된 미세공정에서 열처리를 통해 소자의 전기적 특성을 개선하는 역할을 하며, 기존에는 파운드리 공정에 주로 사용됐으나 최근 삼성전자, SK하이닉스 등 메모리 반도체 기업들 역시 도입을 확대하고 있다.

예스티 로고. [사진=예스티]

그동안 HPA 장비 시장은 국내 반도체 장비업체 HPSP가 사실상 독점해왔다. 예스티는 지난 2022년 12월 장비 개발을 완료하고 고객사 대상 데모 및 양산 테스트를 진행해 왔으나, 2023년 8월 HPSP로부터 특허 침해 소송을 제기받으면서 사업이 다소 지연됐다.

분쟁의 쟁점은 장비의 챔버 개폐 구조였다. 예스티는 이에 대해 소극적 권리범위확인심판과 무효심판을 제기했고, 특허심판원은 지난 4월 25일 예스티의 손을 들어주며 해당 구조가 기존 특허와는 다르다는 판단을 내렸다. 이에 따라 예스티는 일부 기술적 불확실성을 해소하고 제품 상용화 작업을 재개하게 됐다.

다만, HPSP는 이중벽 구조에 대한 별도의 특허를 근거로 추가 소송을 제기한 상태다.

예스티 관계자는 관련 소송에 대해 "해당 특허는 이미 공개된 선행기술이 존재해 무효 가능성이 높다"며 "또한 내년 5월 만료 예정으로, 소송이 끝나기 전 효력이 소멸돼 사업 진행에는 영향이 없을 것"이라고 밝혔다. 이어 "특허 심판 절차로 시장 진입이 다소 지연된 것은 사실이나, 승소 이후 빠르게 국내외 고객사들과 프로모션을 재개했고, 성능 우위도 평가를 통해 입증된 상태"라고 설명했다.

예스티의 특허 분쟁 승소는 주가에도 긍정적인 영향을 미쳤다. 지난 4월 25일 특허심판 결과가 알려진 당일, 주가는 전일 대비 24.48% 급등하며 1만3000원대에서 1만6000원대로 올랐다. 이후 소폭 상승세를 이어가며, 20일 종가 기준, 1만7220원으로 마감했다.

2000년 설립된 예스티는 반도체 및 디스플레이 장비 제조업체로, 칠러, 가압큐어, 퍼니스, 히팅자켓, 클린후드 등 다양한 제품군을 보유하고 있다. 최근에는 고대역폭메모리(HBM) 관련 장비 시장에 진출해 가시적인 성과를 내고 있다. 

용인시에 입주할 반도체 소부장기업 예스티의 반도체 제조장비 등 내부 전경. [사진=용인시]

지난해 기준, 예스티 전체 매출 중 반도체 장비 비중은 85%에 달하며, 디스플레이 부문 6.8%, 기타가 8.2%를 차지했다. 주력 반도체 장비는 퍼니스와 네오콘으로, 이 중 네오콘은 웨이퍼 이송장비(EFEM)에 부착되는 설치형 모듈 형태로 공급되고 있다. 이 장비는 질소 대신 제습 기능을 활용해 장비 내부 습도를 효과적으로 낮출 수 있어, 에너지 절감 및 ESG 측면에서도 주목받고 있다.

예스티의 네오콘은 공동개발프로그램(JDP)을 통해 개발된 장비다. 지난해까지는 고객사에 제약이 있는 상태였지만 올해부터는 다양한 고객사 확보 등을 통해 관련 수요가 증가될 전망이다.

예스티 관계자는 "기존에는 관련 장비를 파운더리 공정에만 공급했지만, 올해부터 메모리 공정으로도 공급 범위가 확대되고 있다"며 "국내 다수 고객사와 프로모션 진행하며 평가도 받고 있다. 공정 확장과 고객사 다변화를 통해 사업을 확대해 나가고 있다"고 설명했다.

한편, 예스티는 지난해 매출액은 전년대비 25.42% 증가한 1001억원, 영업이익 113억원을 기록하며 흑자 전환에 성공했다. 금융정보업체 에프앤가이드 컨센서스에 따르면 올해 매출 1088억원, 영업이익 128억원을 전망한다.

nylee54@newspim.com