[고영화의 중국 반도체] <7> 中 반도체소재, 웨이퍼 등 국산화 탄력<下>

기사입력 : 2022년12월09일 13:16

최종수정 : 2022년12월09일 14:11

◆ 화터기체, 진홍기체, 남대광전 등 다수 상장사 전자기체 국산화에 참여

반도체 제조 공정에서는 5N(5개 'Nine' 즉 99.999% 순도) 이상 초순도의 다양한 특수기체가 사용된다.

SAI 자료에 따르면, 2020년 세계 반도체 공업기체 시장은 독일 린더(Linde) 20.2%, 프랑스 에어리퀴드(Air Liquide) 15.5%, 미국 에어프로덕츠(Air Products) 6.6%, 일본 TNSC 5.5% 등 4대 다국적기업이 47.7%를 과점하고 있다.

2020년 중국 전자기체 시장은 85%를 위에서 언급한 4대 다국적기업이 차지하고 있으며, 중국기업은 화터기체(Huate) 1.9%, 진홍기체(Jinhong) 1.6%, 남대광전(Nata) 1.5%, 야커과기(Yoke) 1.3% 등이 있다.

화터기체(华特气体, Huate Gas, 688268.SH, 포산)는 1999년 설립되었고, 고순도 헥사플루오로에탄(C2F6), 고순도 사불화탄소(CF4), 고순도 일산화탄소(CO2), 건식 포토레지스트 가스 등 230여종의 특수 가스 및 일반 가스 10여종을 생산한다. SMIC, 창장메모리(YMTC), TSMC(중국), Intel(중국), SK Hynix(중국) 등을 포함하여, 중국 8인치 및 12인치 반도체 제조기업 80% 이상을 고객으로 확보했다. 올해 상반기 매출은 8.84억위안(전년대비 +36.5% 증가)이며, 특수기체 비중은 59.1%이다.

진홍기체(金宏气体, Jinhong Gas, 688106.SH, 쑤저우)는 1999년 설립 이후, 특수가스, 일반가스, 천연가스 등 100여 종의 기체를 생산한다. 특히 초순수 암모니아(NH3) 가스의 중국시장 점유율은 50%를 넘는다. 화룬마이크로(华润微电子), 렌신반도체(联芯集成), 삼성전자, 삼안광전(三安光电) 등이 주요고객이다. 올해 상반기 매출은 9.30억위안(전년대비 +19.4% 증가)이며, 특수기체 비중은 37.8%이다.

남대광전(南大光电, Nata, 300346.SZ, 쑤저우)은 2000년 설립되었고, 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6) 등 불소 함유 가스와 인산(H3O4P), 비소산(As2O5〮nH2O) 등 수소계 가스를 주로 생산한다. 주요고객은 오스람(Osram), 엘지(LG), 삼안광전(三安光电), 스란마이크로(士兰微电子) 등이다. 올해 상반기 매출은 8.47억위안(전년대비 +91.3% 증가)이며, 특수기체 비중은 79.0%이다.

야커과기(雅克科技, Yoke Technology, 002409.SZ, 우시)는 1997년 설립 이후 일반 방염제를 생산하여, 2010년 선전거래소에 상장된 이후 2013년 LNG 보온복합소재 사업에 진출하였다. 2016년에는 반도체 후공정 실리카 필러 전문기업 화페이전자(华飞电子基材), ALD/CVD 소재 전문기업 한국 유피케미칼(UP Chemical) 및 특수기체 전문기업 청두시 커메이터특종기체(科美特特种气体) 등 3사를 인수하면서 반도체 소재 기업으로 변신했다. 또한 2017년 한국 포이스(Foures)와 중국 JV를 설립하여 반도체 기체/액체 수송설비 사업에 진출했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =중국 야커과기(Yoke)의 자회사 유피케미칼(UP Chemical)의 평택 소재 특수가스 공장설계도 [출처= 네이버, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

야커과기의 자회사 커메이터(科美特)는 불소가스 중 사불화탄소(CF4) 년2000톤, 육불화황(SF6) 년8500톤 등을 생산 중이다. 야커과기의 올해 상반기 매출은 20.6억위안(전년대비 +14.2 증가)이고, 전자기체 비중은 10.7% 이다.

이외에도 하오화과기(昊华科技, HHKJ, 600378.SH, 청두), 카이메이터치(凯美特气, KMT, 002549.SZ, 웨양), 화웬기체(和远气体, Heyuan Gas, 002971.SZ, 장양), 중촨중공(中船重工, CSIC, 국유기업, 비상장, 베이징) 산하 718연구소, 리밍화공연구원(黎明化工研究设计院, LRICI, 국유기업, 비상장, 뤄양) 등도 반도체 특수기체를 생산하고 있다.

◆ 풍부한 광물자원을 기반으로 스퍼터링타겟 국산화 순풍

스퍼터링 타겟은 물리적 증착(PVD)에 사용되는 고순도 금속소재로서, 반도체의 경우 99.9995%(5N5) 이상, LCD 패널 경우 99.999%(5N) 이상, 태양전지 경우 99.995%(4N5) 이상의 순도가 요구된다.

세계반도체무역통계(WSTS) 자료에 따르면, 2020년 세계 스퍼터링타겟 시장은 일본 제이엑스니폰(JX Nippon) 30%, 토소(TOSOH) 20%, 미국 하니웰(Honeywell) 20%, 프렉스에어(Praxair) 10% 등 일본과 미국의 4개 기업이 80%를 독점하고 있다.

요우옌신소재(有研新材, GRIAM, 600206.SH, 베이징)도 요우옌꾸이(Gritek)와 같이 국유기업 요우옌과기그룹(有研科技集团, GRINM)의 자회사이다. 1999년 그룹에서 분리되면서 동시에 상하이거래소에 상장되었다. 스퍼터링타겟 중 8~12인치 반도체 용 알루미늄, 티타늄, 구리, 코발트(Co) 제품은 양산 중이고, 7nm 이하 첨단 제품은 개발 중이다. 앞으로 2025년까지 년 5.3만톤의 스퍼터링타겟 제품을 생산할 수 있도록 공장을 확장 중이다. 올해 상반기 매출은 74.1억위안(전년대비 -2.9% 감소)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 67.6%이다.

장펑전자(江丰电子, KFMI, 300666.SZ, 닝보) 는 2005년 설립되었고, '2017년 중국반도체소재10대기업'으로 선정되기도 했다. 스퍼터링타겟 중 12인치 반도체용 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 탄탈럼(Ta), 구리(Cu) 제품은 양산하고 있으며, 90-7nm 공정에 이미 납품했고, 5nm 공정의 일부 납품하고 있다. 2020년, 알루미늄 제품 13.2만개, 티타늄 6.1만개, 탄탈럼 3.2만개를 생산했고, 구리제품은 년1.8만개 생산시설을 건설 중이다. 올해 상반기 매출은 10.86억위안(전년대비 +50.2% 증가)이고, 스퍼터링타겟 제품 비중은 60.7%이다.

아스촹(阿石创, Acetron, 300706.SZ, 푸저우)은 2002년 설립되었고, 2020년 스퍼터링타겟 제품 총 590톤을 양산했다. 향후 몰리브덴(Mo) 년800톤, 알루미늄 년350톤, 실리콘(Si) 년50톤, 구리 년2000톤 등을 증산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 3.4억위안(전년대비 +39.4% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 56.8%이다.

롱화과기(隆华科技, Longhua, 300263.SZ, 뤄양)는 1995년 설립되었다. 스퍼터링타겟은 2020년에 이미 산화인듐주석(ITO) 제품 년10톤, 몰리브덴 년80톤을 생산했고, 향후 산화인듐주석 제품을 년140톤을 추가 생산할 계획이다. 올해 상반기 매출은 11.6억위안(전년대비 +21.7% 증가)이고, 스퍼터링타겟 비중은 21.4%를 차지했다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 한중합자 스퍼터링타겟 기업 '즈롱신재료'(智隆新材)의 광동성 중산시 소재 본사 전경
[출처= 바이두, 2022.12]. 2022.12.09 chk@newspim.com

즈롱신재료(智隆新材, 비상장, 중산)는 한국 LT금속과 광저우즈무과기(广州智沐科技)가 6억 위안을 공동투자하여 2019년 4월에 설립한 중한합자 스퍼터링타겟 전문기업이다. 고순도 산화인듐주석(ITO) 제품을 2020년 하반기부터 양산하고, 이어 이그조(IGZO: 인튬(Indium), 갈륨(Gallium), 아연(Zinc), 산소(Oxide)) 제품을 개발 중이다.

이외에도 오라이고신재료(欧莱新料, Omat, 비상장, 샤오관), 잉리과기(映日科技, Yingri, 비상장, 우후) 등이 스퍼터링타겟 소재를 생산하고 있다.

◆ 중국 반도체 소재 산업은 전국 각지에서 '인해전술' 양상

오늘은 베어웨이퍼, 전자기체, 스퍼터링타겟 등의 중국 반도체 소재의 현주소를 살펴보았다. 기술적인 특징 이외에, 중국 반도체 소재산업의 특징을 보면 3가지로 요약할 수 있다.

첫째는 반도체 소재산업에 참여한 기업의 수가 정말 많다는 것이다. 둘째는 일부러 기업명칭 뒤에 기업의 소재지를 기입해 놓았는데, 반도체 소재 기업들이 특정한 지역에 몰려있지 않고 중국 전역에 걸쳐 있다는 것이다. 셋째는 대부분의 기업들이 상장기업이라는 것은 중국 정부가 반도체 소재기업에게 관대하게 상장 기회를 주고 있다는 것이다.

현재 중국의 반도체 소재 국산화율은 높지 않지만 이렇게 많은 기업들이 '인해전술'로 도전하는 것을 보면, 투입 확대에 따른 순조로운 성과 확대도 필연적이라고 본다.

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com

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[변상문의 화랑담배] 제2회 광복군 변상문의 '화랑담배'는 6·25전쟁 이야기이다. 6·25전쟁 때 희생된 모든 분에게 감사드리고, 그 위대한 희생을 기리기 위해 제목을 '화랑담배'로 정했다. 1940년 9월 17일 중국 중경 가릉호텔에서 성대한 행사가 열렸다. 대한민국 임시정부 광복군 창설식이었다. 미국 한인 동포들이 보내온 돈 4만원으로 조직한 군대였다. 지금 돈으로 환산하면 20억 원 정도 된다. 총사령관 이청천 장군, 참모장 이범석 장군, 제1지대장 이준식, 제2지대장 고운기, 제3지대장 김학규, 제5지대장에 나월환을 임명했다. 지대장은 지금의 사단장에 해당한다. 모두 봉오동 전투, 청산리 전투를 비롯하여 남북 만주에서 전개된 항일무장투쟁에 직접 참여하여 활동한 독립군 출신이었다. 한국광복군 훈련반 제1기 졸업사진. [사진= 독립기념관] 임시정부 주석 김구는 포고문을 통해 "국내외 동포들에게 알립니다. 1940년 9월 17일부로 대한민국 광복군을 창설하였습니다. 광복군은 1907년 8월 1일 일제가 대한제국 군대를 해산한 날이 바로 광복군 창설일임을 선언합니다. 광복군은 구 한국군의 후신으로 33년간에 걸친 의병과 독립군의 항일무장투쟁을 계승한 전통 무장 조직입니다"라고 했다. 대한제국 국군-의병-독립군의 군맥(軍脈)과 군혼(軍魂)을 분명하게 잇고 있음을 천명한 것이다. 부대 편성은 소대, 중대, 대대, 연대, 여단, 사단 6단으로 편성하였다. 총 3개 사단을 조직할 계획이었다. 그러나 인원이 적은 상황에서 우선 지대를 만들고, 각 지대를 구대와 분대로 연계한 전투부대를 구성했다. 임시정부에서 1940년 9월 19일 중국 국민당 정부에 통보한 '한국광복군 총사령부 직원 명단'에 의하면, 부대 규모가 총사령부와 4개 단위부대, 여기에다 조선혁명군 부대까지 포함하여 5000여 명이었다. 임시정부에서는 1941년 12월 연합국의 일원으로 일본에 선전포고했다. 1942년에는 미국 측에 "미국이 제주도를 해방 시켜 주면, 중경에 있는 임시정부를 제주도로 옮긴 후, 광복군이 미군과 함께 한반도 상륙작전을 전개하겠다."라고 제안하였다. 이 제안은 실제로 미국 OSS 부대(지금의 CIA)와 1945년 4월부터 8월까지 강도 높은 국내 진공 작전을 준비했다. 주요 훈련은 3개월 기간에 고공낙하, 암살법(권총에 특수장치를 하여 소리 없이 암살하는 방법), 통신(암호의 작성 및 해독법, 무전기 조작 및 수리), 교란 행동, 정보수집, 폭파 등 이었다. 일과는 07:00∼12:00 오전 훈련, 13:00∼18:00 오후 훈련, 19:00∼22:00 야간 훈련이었다. 주요 임무는 대한민국으로 낙하산과 잠수함으로 침투하여 미 공군 공습에 필요한 지형 등의 정보를 제공하고 일본군 군사시설 탐지 및 파괴 지하 유격대를 조직하여 연합군 상륙작전 시 제2선에서 연결하는 작전이었다. 마침내 1945년 8월 7일 모든 훈련을 마치고 국내진공작전 출정식을 개최했다. 개시일은 8월 10일이었다. 출정식 때 장준하 경기도 공작 반장은 "나는 조국광복을 위해 죽음을 선택했습니다. 내가 나의 죽음을 지불하면, 내 능력껏 그 대가가 조국을 위해서 결제될 것입니다. 나의 각오는 한 장의 정수표입니다. 발생인은 장준하, 결제인은 조국입니다"라는 유서까지 작성했다. / 변상문 국방국악문화진흥회 이사장 2025-09-08 08:00

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'포스트 이시바' 누구?...고이즈미·다카이치 선두 [서울=뉴스핌] 오영상 기자 = 이시바 시게루 일본 총리가 자민당 총재직 사임을 공식화하면서, 일본 정국의 관심은 차기 자민당 총재 선거로 쏠리고 있다. 집권당 총재가 곧 총리직을 맡는 일본 정치 구조상 이번 총재 선거는 사실상 다음 총리를 뽑는 절차다. 자민당은 조만간 새로운 총재 선거 일정을 확정할 예정이다. 이번 선거에서는 지난 2024년 9월 총재 선거에서 이시바 총리와 경합했던 주요 인사들이 다시 출마할 가능성이 높다. 고이즈미 신지로 농림수산상, 다카이치 사나에 전 경제안보담당상, 하야시 요시마사 관방장관, 모테기 도시미쓰 전 간사장, 고바야시 다카유키 전 경제안보담당상 등이 후보군으로 거론된다. 정국 운영이 소수 여당이라는 제약 속에서 이루어지는 만큼, 차기 총재가 야당과 어떻게 연대할지, 어떤 연립 구도를 짤지가 최대 쟁점으로 꼽힌다. '포스트 이시바' 후보로 꼽히고 있는 고이즈미 신지로 일본 농림수산상 [사진=로이터 뉴스핌] ◆ 고이즈미·다카이치 선두권 현재 여론조사에서는 고이즈미 농림수산상과 다카이치 전 경제안보상이 선두권을 형성하고 있다. 니혼게이자이신문 지난달 29~31일 실시한 여론조사에 따르면 차기 총리에 적합한 인물로 다카이치가 23%, 고이즈미가 22%를 기록했다. 나란히 1, 2위다. 자민당 지지층으로 한정하면 고이즈미가 32%로, 다카이치(17%)를 크게 앞서는 것으로 나타났다. 다카이치는 2024년 총재 선거에서 1차 투표에서 1위를 차지했으나 결선에서 이시바에게 역전패했다. 고이즈미 역시 의원 표에서 선두에 올랐지만 당원 표에서 밀리며 결선에 오르지 못했다. 두 사람 모두 당내 기반과 대중적 인지도를 겸비해 차기 선거에서도 가장 주목받는 주자들이다. 고이즈미 농림수산상은 1981년생(44세)으로 고이즈미 준이치로 전 총리의 차남이다. 2009년 중의원 첫 당선 이후 줄곧 '포스트 아베', '차세대 리더'로 주목받았다. 환경상, 농림수산상을 거쳤으며 개혁 성향과 젊은 이미지로 지지층을 넓혔다. 2024년 총선에서 당 선거대책위원장을 맡았으나 참패 책임을 지고 물러났다. 이후 농림수산상으로 복귀해 쌀 유통 개혁 등 농정 개혁에 매진했다. 대중적 인지도와 '고이즈미 브랜드'라는 정치 자산이 최대 강점으로 꼽힌다. 다카이치 전 경제안보상은 1961년생(64세)으로 보수 강경파로 분류되는 여성 정치인이다. 2021년 총재 선거에 첫 도전해 아베 신조 전 총리의 전폭적 지원을 받으며 3위를 기록했다. 2024년 총재 선거 1차 투표에서 최다 득표(의원 72표, 당원 109표)를 얻었으나 결선에서 이시바 총리에게 역전 당했다. 유일한 여성 후보로서 '보수의 아이콘' 이미지를 갖고 있으며, 아베 전 총리와 가까웠던 의원 그룹이 주된 지지 기반이다. 이시바 정권에서 당직 제안을 거절하며 독자 노선을 유지해 왔다. '포스트 이시바' 후보로 꼽히는 다카이치 사나에 전 일본 경제안보담당상 [사진=로이터 뉴스핌] ◆ 하야시·모테기 등 잠룡도 주목 고이즈미와 다카이치 두 선두 주자 외에 잠룡들의 행보도 주목된다. 하야시 요시마사 관방장관은 옛 기시다파 일부의 지지를 받고 있으며, 이시바 정권의 2인자로서 존재감을 키워왔다. 모테기 도시미쓰 전 간사장은 당내 경험과 풍부한 인맥을 강점으로 삼고, 아소 다로 전 부총리와 교류를 통해 지지 기반을 다지고 있다. 고바야시 다카유키 전 경제안보담당상은 5선 의원으로, 동기 의원들과 옛 니카이파의 지원을 받으며 출마 가능성을 열어두고 있다. ◆ 총재 선거 이후에도 정국 '안갯속' 자민당 총재 선거는 국회의원 표와 당원·당우 표를 합산하는 방식이 원칙이지만, 긴급 시에는 국회의원과 지방 지부 대표만 투표하는 '양원 의원 총회' 방식으로 대체될 수 있다. 이 경우 의원 표의 비중이 커져 파벌 역학이 중요해진다. 차기 총재가 선출되더라도 곧바로 정권 안정으로 이어진다는 보장은 없다. 일본 헌법상 총리는 국회에서 지명되는데, 자민·공명 양당은 현재 중의원과 참의원 모두에서 과반을 잃은 상태다. 따라서 야당이 단일 후보를 세워 결집할 경우, 자민당 총재가 총리로 지명되지 못할 가능성도 배제할 수 없다. 자민당 총재가 총리에 오르더라도, 예산안·세제 개혁 법안 등 국정 운영은 야당 협조 없이는 불가능하다. 이런 이유로 차기 총재는 곧바로 '연립 확대'나 '정책 연대'를 추진할 수밖에 없고, 총재 선거 과정에서도 어떤 야당과 손을 잡을지가 핵심 화두가 된다. 결국 이번 자민당 총재 선거는 단순히 차기 지도자를 뽑는 절차를 넘어, 일본 정치가 다당제 속에서 어떤 연립 구도를 구축할지 시험대가 되는 분기점으로 평가된다. goldendog@newspim.com 2025-09-08 09:26