[세종=뉴스핌] 양가희 기자 = 국산 기술로 초순수를 생산하는 구미 초순수 실증플랜트가 본격 가동된다.
환경부는 국산 기술로 생산한 초순수를 반도체 제조 공정에 국내 최초로 공급하는 '초순수 국산화 실증플랜트 통수식'을 9일 오전 SK실트론 구미 2공장에서 개최한다고 밝혔다.
초순수는 불순물이 거의 없는 상태의 물로, 반도체 표면의 각종 부산물과 오염물질 등을 세척하기 위해 사용된다. 반도체 산업 이외에도 의료·바이오, 화학, 이차전지, 디스플레이 등에 사용되는 필수 자원이다.
초순수를 생산하기 위해서는 이온물질의 농도를 1ppt 이하, 용존산소 등 물속의 기체 농도를 1ppb 이하로 만드는 고난도의 수처리 기술이 필요하다.
초순수 시장 규모는 2021년 기준 국내 2조 2000억원, 해외 28조원에 이른다. 2028년까지 국내 2조 5000억원, 해외는 35조 5000억원까지 성장할 것으로 전망된다.
환경부와 한국환경산업기술원은 초순수 생산기술을 국산화하기 위해 고순도 공업용수 국산화 기술 개발 사업을 2021년 4월부터 추진했다. 환경부는 초순수 실증플랜트를 통해 설계·시공·운영 기술 100%, 핵심 기자재 70% 국산화에 성공했다. 구미 플랜트에서는 하루 최대 1200톤의 초순수를 생산할 수 있다.
설계·시공 기술은 한성크린텍 및 진성이앤씨가, 핵심 기자재는 삼양사, 에코셋 및 세프라텍이, 운영 기술은 한국수자원공사가 맡았다.
SK실트론은 올해 12월부터 2025년까지 국산 기술로 생산된 초순수를 24시간 연속 공급해 SiC 웨이퍼를 생산한다. 2025년 사업 종료 이후에는 실증플랜트 운영이 SK실트론에 이관돼 웨이퍼 생산에 계속 활용하게 된다.
환경부는 2026년부터 2030년까지 초순수 기술 고도화를 위한 후속 연구개발(R&D)을 추진한다. 2031년부터는 초순수 플랫폼센터를 구축한다는 계획이다.
박재현 물관리정책실장은 "초순수 생산기술 국산화 성공은 반도체 산업 육성의 든든한 토대가 될 것"이라며 "앞으로도 반도체 산업단지의 안정적인 용수 공급과 함께 초순수 생태계 활성화를 위한 국산 기술력 향상과 민간 기업의 시장 진출을 적극 지원할 것"이라고 밝혔다.
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