[뉴스핌=장진우 기자] 반도체 제조장비 전문업체 유니셈(대표 김형균)은 12일 한국산업기술평가원의 산업기술개발사업 우수제조기술연구센터(ATC)사업의 ATC신규과제 지원 대상과제로 선정됐다고 밝혔다.
유니셈은 반도체 /FPD 성막공정의 중요 설비인 GAS SCRUBBER 전문제조 업체로 기 생산중인 가스처리 정제기술에 미세분진의 Clogging 방지 및 Abatement Scrubber 장비 개발을 연구과제로 신청해 14억 1000만원의 국고 보조금 지원 대상으로 선정됐다. 또한 자사 출연금 14억3000만원을 더해 오는 2012년 09월까지 신규장비 개발을 완료하기로 했다.
한편, 유니셈은 삼성전자 및 하이닉스, LG Display의 주요 협력사로 최근 Solar Cell 및 LED 대응용 제품군을 확대했다.
유니셈은 반도체 /FPD 성막공정의 중요 설비인 GAS SCRUBBER 전문제조 업체로 기 생산중인 가스처리 정제기술에 미세분진의 Clogging 방지 및 Abatement Scrubber 장비 개발을 연구과제로 신청해 14억 1000만원의 국고 보조금 지원 대상으로 선정됐다. 또한 자사 출연금 14억3000만원을 더해 오는 2012년 09월까지 신규장비 개발을 완료하기로 했다.
한편, 유니셈은 삼성전자 및 하이닉스, LG Display의 주요 협력사로 최근 Solar Cell 및 LED 대응용 제품군을 확대했다.