아바코는 전자선 증착 장치의 아크발생 방지 방법 및 장치 특허를 취득했다고 4일 발표했다.이번 특허는 유리기판이 설치되는 메인 챔버의 내부에 전자선 증착원을 설치하고, 상기 전자선 증착원의 외주를 개구부를 갖는 별도의 챔버로 커버하여 서로 관통된 이중 챔버 구조로 하며, 각 챔버별로 별도의 배기펌프를 설치하여 챔버내의 분포압력이 서로 다르도록 함으로써, 전자선 증착원의 동작시에 아크가 발생되지 않도록 하는 전자선 증착장치의 아크발생 방지 방법 및 장치관한 것이다.회사측은 "PDP패널 제조장비에 대한 기술경쟁력을 확보함으로써, 시장점유율을 확대하고 신규 마케팅에 활용할 예정이다"고 강조했다.[뉴스핌 Newspim] 고계희 기자 cen2222@nate.com
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