[베이징=뉴스핌] 조용성 특파원 = 중국의 반도체 장비 업체가 미국의 반도체 장비 대기업인 AMAT(어플라이드 머티어리얼즈)를 상대로 지식재산권 침해 소송을 제기했다.

중국 이탕(屹唐)반도체는 14일 상하이거래소 공시를 통해 자사가 보유한 플라즈마 소스 및 웨이퍼 표면 처리와 관련된 핵심 기술을 AMAT가 불법적으로 취득해 사용했을 뿐만 아니라, 중국 내에서 특허를 출원하는 방식으로 비밀 기술을 공개하고 특허 출원 권리를 AMAT가 소유하고 있음을 주장했다고 밝혔다.

이탕반도체는 AMAT의 행위가 중국의 부정당경쟁방지법에 위반되는 영업비밀 침해 행위로 판단했으며, 이에 따라 베이징 지식재산권 법원에 소송을 제기했다고 공시했다. 소송 금액은 9999만 위안(192억 원)이었다.

현재 사건은 법원에 접수된 상황이며, 재판은 아직 개시되지 않았다.

이탕반도체는 고농도 플라즈마를 이용해 웨이퍼 표면을 처리하는 기술이 회사의 핵심 기술로 소개하고 있다. 이 기술을 이용해 이탕 반도체는 건식 제막, 급속 열처리(RTP), 건식 식각 장비를 제조하고 있다.

이탕반도체에 따르면 AMAT는 미국의 반도체 기업인 맷슨 테크놀로지(MTI)에서 근무하던 두 명의 직원을 채용했다. 두 명의 직원은 MTI와 맺은 비밀 유지 계약을 어기고 AMAT에 기술을 제공했다. 또한 AMAT는 중국 국가 지식재산국에 발명 특허를 출원했다. 특허 출원자는 해당 두 직원이었다.

MTI는 이탕반도체가 100% 지분을 보유한 자회사다. 이탕반도체는 2016년 미국의 MTI를 인수했다. 중국의 자본이 해외 반도체 장비를 인수한 것은 당시가 처음이었다.

이탕 반도체는 2015년 베이징에서 설립된 반도체 장비 업체다. 베이징 이좡(亦庄) 경제기술개발구가 최대 주주인 국유기업이다. 이탕 반도체는 지난달 상하이증권거래소에 상장됐다. 14일 종가 기준 시가총액은 676억 위안(13조 원)이다.

이탕반도체 본사 사옥 전경 [사진=이탕반도체]

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